[发明专利]一种显示面板的制作方法有效
申请号: | 201510414055.1 | 申请日: | 2015-07-15 |
公开(公告)号: | CN104950539B | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 刘元甫 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 制作方法 | ||
本发明公开本发明所述显示面板的制作方法包括提供一基板,基板上具有第一金属层,基板包括第一显示区域及第一外围区域,第一金属层覆盖第一显示区域及第一外围区域;在第一金属层上铺设光阻层,形成第一半成板;对第一半成板进行曝光、显影,形成第二半成板,其中,第二半成板对应第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一及第二预设图案;对第二半成板进行蚀刻、剥离,使得第一显示区域上形成第一预设金属线组,第一外围区域上形成第二预设金属线组。本发明大大降低了显示面板制作过程中出现静电放电的出现,进而大大提高了显示面板的良率。
技术领域
本发明涉及电子领域,尤其涉及一种显示面板的制作方法。
背景技术
目前常用的电子设备及仪器主要以金属线作为导线来传播信号,使用金属导线有助于降低设备的生产成本增加电子设备稳定性,所以形成金属线的材料要求价格低廉,具有较低的电阻和耐腐蚀性。液晶显示器的液晶面板一般由彩膜基板和阵列基板构成,阵列基板中的栅极线和数据线一般都是用包括铝及铝合金或者铜作为金属导线。然而使用纯铝作为导线,在后续高温制成中由于应力作用,铝的表面容易形成凸起进而破坏绝缘层导致播磨晶体管的电性异常。如果使用纯铜作为金属电极,由于铜与玻璃或者氮化硅或者氧化硅的附着力不好,容易形成金属膜剥落的现象。为克服这些问题经常使用多层铝结构或者多层铜结构作为栅极或者数据电极,具体的是将铝或者铜与高耐腐蚀性的钼或者钛叠层在一起。然而在显示器面板的制作过程中,多层结构的电极中不同金属的蚀刻率不同,特别是钼或者钛比较不活泼,显示区外围有大面积金属待蚀刻时经常会现出大面积现底层金属钼或者钛残留,容易引起后续制成出现静电放电(ESD),从而造成面板良率大大降低失。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种显示面板的制作方法,以提供显示面板的良率。
为了实现上述目的,本发明实施方式提供如下技术方案:
本发明供了一种显示面板的制作方法,包括:
提供一基板,所述基板上具有第一金属层,所述基板包括第一显示区域及第一外围区域,所述第一金属层覆盖所述第一显示区域及所述第一外围区域;
在所述第一金属层上铺设光阻层,形成第一半成板;
对所述第一半成板进行曝光、显影,形成第二半成板,其中,所述第二半成板对应所述第一显示区域及第一外围区域的区域分别形成第一预设图案及第二预设图案;
对所述第二半成板进行蚀刻、剥离,从而使得所述第一显示区域上形成第一预设金属线组,所述第一外围区域上形成第二预设金属线组。
其中,所述第二预设金属线组中的每个金属线的宽度小于1厘米。
其中,所述第二预设金属线组中的金属线为直线、曲线或折线。
其中,所述第二预设金属线组中的金属线为虚线状。
其中,所述第二预设金属线组中的相邻两金属线之间的距离均相同。
其中,所述基板上还具有第二金属层,所述第二金属层包括第二显示区域及第二外围区域;其中,所述制作方法还包括:
在所述第二金属层上铺设光阻层,形成第三半成板;
对所述第三半成板进行曝光、显影,形成第四半成板,其中,所述第四半成板对应所述第二显示区域及第二外围区域的区域分别形成第三预设图案及第四预设图案;
对所述第四半成板进行蚀刻、剥离,从而使得所述第二显示区域上形成第三预设金属线组,所述第二外围区域上形成第四预设金属线组。
其中,所述第四预设金属线组中的每个金属线的宽度小于1厘米。
其中,所述第四预设金属线组中的金属线为直线、曲线或折线。
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