[发明专利]一种共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法在审

专利信息
申请号: 201510415939.9 申请日: 2015-07-15
公开(公告)号: CN105084307A 公开(公告)日: 2015-11-25
发明(设计)人: 云峰;赵宇坤;黄亚平;李虞锋 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: B82B3/00 分类号: B82B3/00;B82Y40/00;H01L51/56;H01L31/0236
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 岳培华
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 共振 可调 金属 纳米 结构 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

a)对样品表面进行亲水性处理;

b)制备均匀分散的PS纳米球溶液:

将PS纳米球分散液和无水乙醇按体积比为1:(1~10)混合,超声分散均匀,得到均匀分散的PS纳米球溶液;其中PS纳米球的直径为50nm~1000nm,PS纳米球分散液中PS纳米球的质量分数为5%~20%;

c)PS纳米球在水面的预组装:

将均匀分散的PS纳米球溶液滴加到经亲水性处理后的Si片上,再将该硅片以10~45°的倾斜角度伸入盛有去离子水的容器中,PS纳米球滑入去离子水中,在水面预组装形成PS纳米球单层膜;其中滴加到Si片上的PS纳米球溶液的体积V与容器中去离子水的表面积S的关系为V/S=0.5~5μL/cm2

d)将PS纳米球单层膜转移至经步骤a)处理的样品表面,在样品表面得到单层自主装的PS纳米球结构;

e)通过电子束蒸发、热蒸发或磁控溅射的方式在具有单层自主装的PS纳米球结构的样品表面沉积金属,沉积的金属的总厚度小于PS纳米球结构中PS纳米球的半径;

f)将沉积金属后的样品表面的PS纳米球结构去除,即在样品表面得到共振峰位可调的金属纳米结构。

2.根据权利要求1所述的共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于:所述步骤a)的具体操作为:将样品置于臭氧环境中,用紫外线照射1~30min;或者将样品置于体积比为3:1的浓硫酸与双氧水的混合溶液中,在100~150℃下浸泡30~120min。

3.根据权利要求1所述的共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于:所述步骤a)中的样品为Si片、蓝宝石、ITO层、GaN层或玻璃。

4.根据权利要求1所述的共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于:所述步骤c)中待PS纳米球在水表面预组装形成PS纳米球单层膜后,在容器边缘注入十二烷基硫酸钠溶液,其中十二烷基硫酸钠溶液的浓度为0.1~10g/L,注入的十二烷基硫酸钠溶液的体积V1与容器中去离子水的表面积S的关系为V1/S=0.01~0.1μL/cm2

5.根据权利要求1所述的共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于:所述步骤d)的具体操作为:将经过步骤a)处理的样品以10~45°的倾斜角度沿着步骤c)的容器边缘插入去离子水中,待该样品完全浸入PS纳米球单层膜下方时,向上提拉该样品,将PS纳米球单层膜捞起,静置样品直至PS纳米球单层膜上的水分自然晾干,即在样品表面得到单层自主装的PS纳米球结构。

6.根据权利要求1所述的共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于:所述步骤e)进行之前,先对样品表面的PS纳米球结构中的PS纳米球的大小进行调控,即通过微波加热或平板加热的方式增大PS纳米球的直径,或者通过电感耦合等离子体刻蚀机的氧气刻蚀PS纳米球,以减小PS纳米球的直径。

7.根据权利要求6所述的共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于:用平板加热的方式增大PS纳米球的直径时,加热时间为5~60s,加热温度为80~150℃;

用微波加热的方式增大PS纳米球的直径时,加热时间为5~200s,加热温度为70~100℃;

用电感耦合等离子体刻蚀机减小PS纳米球的直径时,刻蚀功率为30~300W,刻蚀时间为0.5~10min,刻蚀时的压强为0.5~5Pa。

8.根据权利要求6所述的共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于:当增大PS纳米球的直径后,步骤e)中沉积的金属的总厚度小于PS纳米球的原始半径;

当减小PS纳米球的直径后,步骤e)中沉积的金属的总厚度小于减小后的PS纳米球的半径。

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