[发明专利]基板裂断装置有效
| 申请号： | 201510416456.0 | 申请日： | 2015-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN105382944B | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 朱阮镛;张成云 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板裂断 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板裂断装置，其特征在于，包含：
空气轴承台，自形成于与基板对向之面的多个喷射孔将空气喷射而对前述基板进行支持；
裂断单元，其设于前述基板的前述空气轴承台侧的相反侧，将力施加于前述基板而将前述基板裂断；
前述空气轴承台，是以朝向于上下方向互相相异的方向的一对相邻的方式配置；
与前述一对空气轴承台之中向上方的一个对向的前述裂断单元是销裂断单元；
与前述一对空气轴承台之中向下方的另一个对向的前述裂断单元是辊裂断单元。
2.根据权利要求1所述的基板裂断装置，其特征在于：其中进一步包含移送单元，设于前述空气轴承台的左右两侧，且一面支持前述基板一面进行移送。
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