[发明专利]利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法

权利要求书

1.一种利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法，其特征是，所述TSK系列探针台MAP的恢复方法包括如下步骤：

步骤1、提供晶圆测试时生成的测试数据，所述测试数据包括管芯XY坐标，SITE编号；确定SITE数目以及探针排布方向，以根据所述测试数据生成与所述测试数据对应的恢复参考图；

步骤2、提供并打开任意一张与上述测试晶圆属同一批次晶圆的已完成完整测试的MAP图，根据所述已完成完整测试的MAP图对上述生成的恢复参考图进行调整，恢复参考图在调整后形成调整恢复图，所述调整恢复图内的测试信息与已完成完整测试的MAP图内的测试信息相吻合；

步骤3、以已完成完整测试MAP图为标准参考，对调整恢复图内每个管芯的测试属性进行设置，并利用设置管芯测试属性后的调整恢复图生成恢复MAP图；

步骤4、打开上述恢复MAP图，并将所述打开的恢复MAP图与恢复参考图进行对比，当恢复MAP图的管芯XY坐标与恢复参考图内的管芯XY坐标一致时，则确定根据测试数据恢复MAP图成功，否则，调整测试数据内的管芯XY坐标并重复上述步骤，直至能确定根据测试数据恢复MAP图成功。

2.根据权利要求1所述的利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法，其特征是：利用Excel VBA编程语言对测试数据处理以生成恢复参考图，探针排布的方向包括横向排列、竖向排列、菱形排列、矩形排列或间隔排列。

3.根据权利要求1所述的利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法，其特征是，所述步骤3包括如下步骤：

步骤3.1、任意读取调整恢复图内的一行数据并保存至既定数组1内，并在已完成完整测试MAP图内读取与调整恢复图相对应的行数据且保存至既定数组2内，以既定数组2为标准参考，对既定数组1内每个管芯的测试属性进行设置；

步骤3.2、重复读取调整恢复图内的行数据以及已完成完整测试MAP图内对应的行数据，并根据步骤3.1对读取调整恢复图内行数据中每个管芯的测试属性进行设置，直至完成对调整恢复图内每个管芯的测试属性均进行设置。

4.根据权利要求3所述的利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法，其特征是，以既定数组2为标准参考，对既定数组1内管芯的测试属性进行设置时，在既定数组2的数据范围外，既定数组1内的测试属性数据统一设置为非测试属性，在既定数组2的数据范围内，既定数组1内的测试属性数据统一设置为测试属性，且设置BIN的数值为2。

5.根据权利要求1所述的利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法，其特征是：所述测试数据包括管芯XY坐标，SITE编号；P/F状态或BIN信息可以择一使用，以和管芯XY坐标、SITE编号共同配合生成恢复参考图。