[发明专利]一种短波红外多通道集成光谱组件无效
| 申请号： | 201510416712.6 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN105021278A | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 邵秀梅;周东平;方家熊;程吉凤;徐勤飞;黄松垒;陈郁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所;上海晶鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 短波 红外 通道 集成 光谱 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种短波红外多通道集成光谱组件，包括高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)、读出电路(2)、过渡电极板(3)、测温电阻(4)、半导体致冷器(5)、多通道数字式分光器(6)、窗口(7)、金属管壳(8)与盖板(9)，其特征在于：
所述的多通道数字式分光器(6)作为微型光谱仪的分光元件，通过边缘金属化焊接，直接与高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)耦合，集成到短波红外多通道集成光谱组件中。
2.根据权利要求1所述的一种短波红外多通道集成光谱组件，其特征在于：所述的高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)的光敏元为长方形结构，长宽比为10:1或者20:1。
3.根据权利要求1所述的一种短波红外多通道集成光谱组件，其特征在于：所述的多通道数字式分光器(6)为一个单片多通道短波红外滤光片，光谱通道数为64、128或者256，各通道的光谱连续均匀分布或不连续分布，每个通道的光谱带宽2nm～5nm，中心波长定位精度±1nm，透过率≥50％，单个通道内的光谱噪声小于1％，通道间的串音小于1％，在分光通道以外的区域沉积短波红外波段透过率小于0.1％的光学薄膜。
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