[发明专利]整体式PSS刻蚀托盘治具在审

申请号：	201510417149.4	申请日：	2015-07-16
公开（公告）号：	CN104979251A	公开（公告）日：	2015-10-14
发明（设计）人：	魏臻;孙智江;贾辰宇	申请（专利权）人：	海迪科（南通）光电科技有限公司
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	226500 江苏省南通市如***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	整体 pss 刻蚀托盘
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【权利要求书】：

1.一种整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：包括整体式托盘（1）与由金属材料制成的压环（2），所述的整体式托盘（1）上排列设置有多个片槽（3），每个所述的片槽（3）内设置用于放置晶圆片的搭阶（4），所述的片槽（3）内位于搭阶（4）的下方设置有冷却腔（5），所述的冷却腔（5）设置多个冷却孔（6），所述的冷却孔（6）通有冷却气体，每个所述的片槽（3）内的晶圆片上方设置压环（2），所述的压环（2）呈环形并覆盖于晶圆片的周向边缘。

2.根据权利要求1所述的整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：所述的整体式托盘（1）由石英、金属或者陶瓷材料制成。

3.根据权利要求1所述的整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：所述的压环（2）具有小爪或内环（7），所述的小爪或内环（7）压紧在晶圆片的边缘并支撑于搭阶（4）上。

4.根据权利要求1所述的整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：所述的晶圆片具有定位边，所述的片槽（3）、压环（2）也配合设置有定位边。

5.根据权利要求1所述的整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：所述的压环（2）的厚度与片槽（3）的深度相适应。

6.根据权利要求1所述的整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：所述的冷却气体包括氦气。

7.根据权利要求1所述的整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：所述的片槽（3）底部设置多个冷却孔（6）。

8.根据权利要求1所述的整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：还包括密封圈，所述的片槽（3）的内径设置有用于放置密封圈的定位槽。

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