[发明专利]一种研磨材料制备方法在审
| 申请号： | 201510417887.9 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN105505312A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 沈丽华;王林丹;沈川江;吕阿琴 | 申请（专利权）人： | 湖州华通研磨制造有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C01F17/00;C01G27/02;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 313000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 材料 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨材料制备方法，包括氧化锆颗粒、铈盐和锆盐；其特征在于，包括以下步骤：
将氧化锆、铈盐和锆盐颗粒干式粉碎；
采用酸、碱或盐来调节所述氧化锆颗粒、铈盐和锆盐组合物的pH值至1-4；
添加螯合剂、表面活性剂、防腐剂、防霉剂或防锈剂；
将从研磨装置排出的使用完毕的研磨用组合物暂时回收到容器内，从容器内再次向研磨装置供给。
2.根据权利要求1所述的研磨材料制备方法，其特征在于，所述按重量计，所述氧化锆颗粒和所述铈盐的组合比例为7-5：3-5。
3.根据权利要求2所述的研磨材料制备方法，其特征在于，所述氧化锆颗粒具有1～10m2/g的比表面积，所述氧化锆颗粒具有0.2μm以下的平均一次粒径。
4.根据权利要求1所述的研磨材料制备方法，其特征在于，在每1mL含有1%质量的氧化锆颗粒的水分散液中，所述氧化锆颗粒之中具有4μm以上的二次粒径的颗粒的个数为20000000个以下。
5.根据权利要求2所述的研磨材料制备方法，其特征在于，所述氧化锆颗粒、所述铈盐和所述锆盐的组合比例为7-5：2-4：1。
6.根据权利要求3所述的研磨材料制备方法，其特征在于，所述氧化锆颗粒、所述铈盐和所述锆盐的组合比例为7：2：1。
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