[发明专利]一种聚焦离子枪

权利要求书

1.一种聚焦离子枪，其特征在于，包括第一阴极(1)，凹孔形阳极(2)和第二阴极(3)；所述第一阴极(1)与所述凹孔形阳极(2)之间的电压为0-2kV，所述凹孔形阳极(2)与所述第二阴极(3)之间的电压为0-6kV；

其中第一阴极(1)的一端具有曲率半径为3mm～20mm的弧面，所述第一阴极(1)的另一端设置有一小孔供氩气进入到所述第一阴极(1)与凹孔形阳极(2)之间，在电场作用下氩气被离子化形成阳离子Ar⁺，并进入凹孔形阳极(2)与第二阴极(3)之间；

所述凹孔形阳极(2)的一端具有锥形面，所述凹孔形阳极(2)的另一端的中心设置有孔，一面由绝缘层覆盖，另一面为凹孔金属面，经过初步离子化的氩气离子进入凹孔形阳极区时，在凹孔形阳极(2)与第二阴极(3)的高压电场作用下，Ar+被加速并形成基本平行的离子束，冲出离子枪而对样品进行减薄。

2.如权利要求1所述的聚焦离子枪，其特征在于，所述第一阴极(1)、所述凹孔形阳极(2)或所述第二阴极(3)的材料为导电性能好的金属材料。

3.如权利要求1所述的聚焦离子枪，其特征在于，设置在所述凹孔形阳极的另一端中心的所述孔的孔径为1mm～2mm。

4.如权利要求2所述的聚焦离子枪，其特征在于，所述第二阴极(3)为锥形电极，所述锥形电极的锥形角度为45°。

5.如权利要求1所述的聚焦离子枪，其特征在于，在所述第一阴极(1)与所述凹孔形阳极(2)之间和所述凹孔形阳极(2)与所述第二阴极(3)之间均设置有绝缘材料隔开。

6.一种离子减薄仪，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的聚焦离子枪。