[发明专利]高频匹配系统

权利要求书

1.一种高频匹配系统，其特征在于，包括：

向负载供给高频电力的高频电力供给单元；

阻抗调整单元，用来调整从所述高频电力供给单元观察所述负载侧时的对象阻抗；

可变电特性元件；

特性参数存储单元，其为存储表示所述阻抗调整单元的传输特性的多个特性参数的特性参数存储单元，所述多个特性参数分别是对于将与所述高频电力供给单元的输出频率对应的多个频率调整点和与所述可变电特性元件的电特性对应的多个电特性调整点组合而得到的多个调整点获取的；

高频信息检测单元，其检测所述高频电力供给单元的输出端或所述阻抗调整单元的输入端的高频信息；

电特性获取单元，其获取所述可变电特性元件的电特性；

特性参数获取单元，其基于所述多个特性参数获取对于将所述高频电力供给单元的输出频率与所述获取的电特性组合而得到的调整点的特性参数；

输出反射系数运算单元，其基于由所述高频信息检测单元检测出的高频信息和由所述特性参数获取单元获取的特性参数，运算所述阻抗调整单元的输出端的输出反射系数；

指定单元，其基于所述输出反射系数、预先设定的目标输入反射系数和所述多个特性参数，从所述多个调整点中对使所述对象阻抗与所述高频电力供给单元的阻抗匹配的阻抗调整点进行指定；

电特性元件调整单元，其将所述可变电特性元件的电特性调整为所述阻抗调整点的电特性；和

指令信号输出单元，其将用于使所述高频电力供给单元的输出频率调整至所述阻抗调整点的输出频率的指令信号输出至所述高频电力供给单元，

所述高频电力供给单元的输出频率为基于由所述高频信息检测单元检测出的所述高频信息而获取的输出频率或所述高频电力供给单元所识别的输出频率。

2.如权利要求1所述的高频匹配系统，其特征在于：

所述特性参数存储单元存储按每个所述调整点实测得到的特性参数、或将实测得到的特性参数转换而得到的与该特性参数不同种类的特性参数。

3.如权利要求2所述的高频匹配系统，其特征在于：

所述测定得到的特性参数为散射参数，与该特性参数不同种类的特性参数为传输参数。

4.如权利要求1所述的高频匹配系统，其特征在于：

所述特性参数存储单元存储的多个特性参数包括实测值和推定值，该实测值是对所述多个调整点的一部分按每个调整点实际测定而得到的值，该推定值是对所述多个调整点的未被实测的调整点，按每个调整点通过使用所述实测值进行的插补运算计算出的值。

5.如权利要求4所述的高频匹配系统，其特征在于：

被实测出所述特性参数的调整点是将从所述多个频率调整点按第一间隔抽取的一部分频率调整点和从所述多个电特性调整点按第二间隔抽取的一部分电特性调整点组合而得到的调整点。

6.如权利要求1所述的高频匹配系统，其特征在于：

所述指定单元基于所述目标输入反射系数和所述多个特性参数，对假定已将所述高频电力供给单元的输出频率和所述可变电特性元件的电特性调整至所述多个调整点的情况下的、各调整点的所述输出端的虚拟的输出反射系数进行运算，将所述输出反射系数与所述虚拟的输出反射系数的差为最小的调整点作为所述对象阻抗的调整点进行指定。

7.如权利要求1所述的高频匹配系统，其特征在于：

所述高频信息是从所述高频电力供给单元向所述负载侧行进的行波电压和从所述负载向所述高频电力供给单元侧反射的反射波电压。

8.如权利要求1所述的高频匹配系统，其特征在于：

所述输出反射系数运算单元基于所述高频信息运算所述输入端的输入反射系数，基于该输入反射系数和所述获取的特性参数运算所述输出反射系数。