[发明专利]远心亮场与环形暗场无缝融合式照射

权利要求书

1.一种统一非圆形对称光学总成，其特征在于，包括：

a. 中央光学聚光器段；以及

b. 多个外围光学聚光器段，环绕所述中央光学聚光器段，

其中所述多个外围光学聚光器段是实质上邻接的，从而围绕所述中央光学聚光器段一起形成实质上无缝的环。

2.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述多个外围光学聚光器段沿着其内边缘与所述中央光学聚光器段实质上邻接，从而一起形成所述统一非圆形对称光学总成的实质上无缝的通光孔径。

3.如权利要求2所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述统一非圆形对称光学总成的所述通光孔径具有实质上圆形形状。

4.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，进一步包括位于所述中央光学聚光器段与所述多个环绕的外围光学聚光器段之间的间隙。

5.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述多个外围光学聚光器段包括八个光学聚光器段。

6.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述多个外围光学聚光器段中的每一个均具有棱镜形状。

7.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述多个外围光学聚光器段是以圆形方式围绕所述中央光学聚光器段排列。

8.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述中央光学聚光器段是光学透镜。

9.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述多个外围光学聚光器段中的每一个均是光学透镜。

10.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述中央光学聚光器段是菲涅耳透镜。

11.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述多个外围光学聚光器段中的每一个均是菲涅耳透镜。

12.如权利要求1所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，进一步包括位于所述中央光学聚光器段与所述多个环绕的外围光学聚光器段之间的受控间隙，所述受控间隙是基于位于下游照射光学总成的前焦平面中的物理间隙。

13.如权利要求12所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述物理间隙包括掩模。

14.如权利要求13所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述掩模包括机械环。

15.如权利要求13所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述掩模包括涂在单独元件上的涂层。

16.如权利要求13所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述掩模包括涂在所述统一非圆形对称光学总成上的涂层。

17.如权利要求13所述的统一非圆形对称光学总成，其特征在于，所述掩模是圆形的。

18.一种用于提供亮场照射及暗场照射的统一光学照射系统，所述光学照射系统的特征在于，包括：

a. 统一非圆形对称光学总成，包括：

i. 中央光学聚光器段；以及

ii. 多个外围光学聚光器段，环绕所述中央光学聚光器段，

其中所述多个外围光学聚光器段是实质上邻接的，从而围绕所述中央光学聚光器段一起形成实质上无缝的环；

b. 多个照射光源，其中所述多个照射光源中的每一个均设置在所述多个外围光学聚光器段中对应的每一个的前焦平面内。