[发明专利]湿法腐蚀导流槽装置及其使用方法

权利要求书

1.一种湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，包括：杯形容器、导流槽、磁力转子、顶部有盖的基板、可贴紧在基板的基片以及若干滤网，其中：磁力转子紧贴于杯形容器的底部；导流槽紧贴杯形容器的侧壁；导流槽的下部为一内部空腔的扇环形结构，该扇环形结构的上部设有若干相同大小的插槽；基片紧贴于基板上，紧贴有基片的基板插入若干相同大小的插槽中任意一个；若干滤网随机插入一个或者多个剩余插槽中。

2.根据权利要求1所述的一种湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，插入基板的所述插槽的两侧均匀设有若干的微小小孔，用于使导流槽内的溶液流速均匀。

3.根据权利要求1所述的一种实现均匀对称腐蚀的湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，所述滤网插入插槽中，使插槽内的溶液流速均匀，若干滤网的网孔大小不同，从而使溶液流速均匀的能力也不同。

4.根据权利要求1所述的一种湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，所述磁力转子紧贴杯形容器的底部表面接触面，且磁力转子的转轴与所述杯形容器的中心轴重合。

5.根据权利要求4所述的一种湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，所述磁力转子在磁力搅拌器带动下均速转动。

6.根据权利要求1所述的一种湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，所述导流槽的顶部设有挂钩，挂钩挂紧杯形容器的杯壁口并固定，从而实现导流槽紧贴杯形容器的侧壁。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，所述装置进一步包括若干相同大小的插槽盖，在插槽没有插满滤网时，没有滤网插入的插槽用相同大小的插槽盖盖上。

8.根据权利要求1-6任一项所述的一种湿法腐蚀导流槽装置，其特征在于，所述整套装置的所有组成部件的材料均为金属或者塑料。

9.一种采用权利要求1-8任一项所述装置的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

第一步、导流槽的顶端半环形挂钩处挂紧杯形容器的杯壁口并固定；

第二步、在第一步的基础上将基片紧贴在基板的一侧，并将紧贴有基片的基板插入导流槽上的任意一个插槽中；

第三步、在第二步的基础上将若干滤网随机选择一个或若干插槽并对应插入其中，剩下未插完的插槽用插槽盖盖住；

第四步、在第三步的基础上将溶液均匀倒入杯形容器中并漫过导流槽的顶端；

第五步、在第四步的基础上用磁力搅拌器将磁力转子顺时针恒速转动；

第六步、导流槽内的溶液与基片上的物质均匀地进行反应。