[发明专利]用于生产掺杂石英玻璃的方法

权利要求书

1.用于生产掺杂石英玻璃的方法，包括以下步骤：

a)提供烟灰体，其中所述烟灰体具有相对于石英玻璃的相对密度的18至30％范围的平均密度；

b)在处理室中使用包含含氟化合物的气体处理所述烟灰体，同时形成氟化中间体产物A，其中所述中间体产物A的平均密度相对于步骤a)中的烟灰体的平均密度增加最多30％；

c)加热氟化中间体产物A至950至1150℃的温度范围，同时形成氟化中间体产物B，其中氟化中间体产物B的平均密度是石英玻璃的相对密度的40至80％；以及

d)在处理室中玻璃化所述氟化中间体产物B，其中所述处理室内部的压力低于所述处理室外部的压力，同时形成掺杂石英玻璃。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述含氟化合物选自由F2、SiF4、CF4、C2F6、SF6、C3F8、NF3、ClF3、BF3和氟-氯代烃组成的组中。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，气体中含氟化合物的分数为15至100体积％，各自相对于气体的总体积。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，气体中含氟化合物的分数为60至100体积％，各自相对于气体的总体积。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤b)中对所述烟灰体的处理在700至1100℃的温度范围进行。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤d)中的玻璃化温度在1200至1500℃的范围。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤d)中的玻璃化温度在1250至1350℃的范围。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，氟化中间体产物B的平均密度是石英玻璃的相对密度的50至60％。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述烟灰体在步骤a)中在700至1100℃的温度范围下通过热和/或化学方法干燥。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤d)中的玻璃化发生在第二处理室，所述第二处理室与在其中施行步骤b)和c)的第一处理室不同。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述氟化中间体产物B在玻璃化之前在第二处理室经受另一干燥步骤，其中干燥在700至1200℃的温度范围进行。