[发明专利]一种清洗液体收集装置

权利要求书

1.一种清洗液体收集装置，用于晶圆单片清洗设备，其特征在于，包括：

清洗液体收集部分，包括一主体，所述主体环绕晶圆单片清洗设备的旋转体设置，所述主体内环绕所述旋转体设有清洗液体收集结构，所述收集结构设有环绕所述旋转体的上部环形气体出口和下部气液收集空腔，所述气体出口朝向所述气液收集空腔设置；

进气部分，连通所述气体出口并用于向其通入气体；

气-液分离部分，包括气-液分离装置，所述气-液分离装置连通所述气液收集空腔；其中，所述气-液分离装置设有排液管路和排气管路，并通过进气管路连通所述气液收集空腔；

其中，通过由所述气体出口喷出气体，形成朝向所述气液收集空腔的环形垂直气帘，与由所述旋转体上放置的晶圆表面甩离的清洗液体发生非弹性碰撞，使所述清洗液体改变运动方向，进入所述气液收集空腔，并通过所述气-液分离装置分离排出。

2.根据权利要求1所述的清洗液体收集装置，其特征在于，所述收集结构还设有环绕所述旋转体的上部封闭式气体空腔，所述气体空腔的底面设有所述环形气体出口，所述气体空腔通过进气口连通所述进气部分。

3.根据权利要求1所述的清洗液体收集装置，其特征在于，所述收集结构可环绕所述旋转体同心设置一至若干层。

4.根据权利要求3所述的清洗液体收集装置，其特征在于，若干层所述收集结构沿水平方向或竖直方向环绕所述旋转体同心依次排列。

5.根据权利要求1～4任意一项所述的清洗液体收集装置，其特征在于，所述收集结构与所述旋转体之间在垂直方向的相对位置可调。

6.根据权利要求2所述的清洗液体收集装置，其特征在于，所述进气部分通过进气管连通所述气体空腔的进气口。

7.根据权利要求6所述的清洗液体收集装置，其特征在于，所述进气管设有气体流量计。

8.根据权利要求1所述的清洗液体收集装置，其特征在于，所述气-液分离装置通过一至若干个所述进气管路连通所述气液收集空腔。

9.根据权利要求1所述的清洗液体收集装置，其特征在于，所述主体底部设有工艺腔体底环和排液管，用于收集从所述旋转体侧壁滴落的清洗液体并排出。