[发明专利]一种磨粒流超精密加工装置

权利要求书

1.一种磨粒流超精密加工装置，其包括气压缸、密闭箱、压力塞、压力头、磨粒流喷射抛光嘴和回收罐，其特征在于，压力塞的一端设置在所述密闭箱内，压力塞的上端与所述密闭箱的上部空间形成密闭空间，压力塞下端与压力头连接，压力头下端设置有外螺纹，磨粒流喷射抛光嘴的上端设置有内螺纹，压力头与磨粒流喷射抛光嘴之间采用螺纹可转动连接，通过调节压力头与磨粒流喷射抛光嘴之间的螺纹来实现磨粒流喷射压力和速度的调节，气压缸与密闭箱的上端连接，通过气压缸向所述密闭箱提供压力，以便通过压力塞给压力头施加压力，压力头的侧壁上设置有磨粒流入口，压力头的下端设置有磨粒流出口。

2.根据权利要求1所述的一种磨粒流超精密加工装置，其特征在于，气压缸与密闭箱之间设置有压力表一，压力塞为上大下小的阶梯状，压力头与磨粒流喷射抛光嘴之间设置有密封圈，压力头内部设置有成直角弯折的磨粒流的流通通道，压力头的下端为圆锥形，所述磨粒流喷射抛光嘴为与压力头配合对应的圆锥形，磨粒流喷射抛光嘴的下端四周设置有保压止流件，保压止流件为倒漏斗状，且保压止流件的下端面的形状为球形圆弧面，回收罐设置在所述保压止流件的下方，回收罐与所述过滤器的一端连接，过滤器的另一端与所述磨粒浓度测量罐的一端连接，磨粒浓度测量罐的另一端与磨粒流供给罐的一端连接，磨粒流供给罐上还设置有磨粒添加罐，所述磨粒流供给罐的另一端与所述加压泵的进液口连接，加压泵的出液口与所述压力头侧壁上的磨粒流入口相连接。

3.根据权利要求2所述的一种磨粒流超精密加工装置，其特征在于，所述过滤器与所述磨粒浓度测量罐之间设置有单向阀。

4.根据权利要求1所述的一种磨粒流超精密加工装置，其特征在于，所述回收罐内设置有工件固定座，待加工工件固定设置在所述工件固定座上。

5.根据权利要求2所述的一种磨粒流超精密加工装置，其特征在于，所述加压泵的出液口与所述压力头侧壁上的磨粒流入口之间设置有压力表二。

6.根据权利要求2所述的一种磨粒流超精密加工装置，其特征在于，所述磨粒添加罐与所述磨粒流供给罐之间设置有电磁阀，所述电磁阀和所述磨粒浓度测量罐内的磨粒浓度测量头均与控制器连接。

7.根据权利要求1所述的一种磨粒流超精密加工装置，其特征在于，所述压力塞的上端与所述密闭箱的上部空间形成密闭空间内设置有流体介质。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种磨粒流超精密加工装置，其特征在于，所述压力头与所述磨粒流喷射抛光嘴之间的螺纹的螺纹间距为0.2-1.2mm。