[发明专利]一种SPC策略自动更新方法及SPC自动策略系统有效

专利信息
申请号: 201510435372.1 申请日: 2015-07-22
公开(公告)号: CN105159239B 公开(公告)日: 2018-03-06
发明(设计)人: 余燕萍;邵雄 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418;H01L21/67
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 spc 策略 自动更新 方法 自动 系统
【权利要求书】:

1.一种SPC策略自动更新方法,包括从生产制造执行系统中抓取数据采集规格信息;其特征在于,还包括:

根据所述数据采集规格信息的修改类型进行不同程度的SPC策略修正:

若数据采集规格信息的修改类型为添加新的工艺参数,则保持SPC策略中原有工艺参数的配置数据不变,并按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据;

若数据采集规格信息的修改类型为删除工艺参数,则在SPC策略中自动删除对应的工艺参数的配置数据,并保持其余工艺参数的配置文件数据;

若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值,则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值。

2.如权利要求1所述的SPC策略自动更新方法,其特征在于,在根据所述数据采集规格信息的修改类型进行不同程度的SPC策略修正之后,检验SPC策略修正是否正确,如果正确,修正后的SPC策略生效,如果错误,提示错误信息。

3.如权利要求1所述的SPC策略自动更新方法,其特征在于,所述数据采集规格信息中,一个工艺参数的数值包括目标值、下限数值和上限数值。

4.如权利要求3所述的SPC策略自动更新方法,其特征在于,所述SPC策略中一个工艺参数的配置数据包括:控制上限值、控制下限值和中间限值。

5.如权利要求4所述的SPC策略自动更新方法,其特征在于,所述SPC策略中一个工艺参数的配置数据还包括报警编号。

6.如权利要求4所述的SPC策略自动更新方法,其特征在于,所述预设更新公式用于根据任意新添加的工艺参数的目标值、下限数值和上限数值,计算任意新添加的工艺参数的控制上限值和控制下限值。

7.如权利要求6所述的SPC策略自动更新方法,其特征在于,按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据包括:SPC控制上限=目标值+(上限数值-目标值)*第一百分比,SPC控制下限=目标值-(目标值-下限数值)*第二百分比。

8.如权利要求7所述的SPC策略自动更新方法,其特征在于,第一百分比与第二百分比相等,均为75%。

9.一种应用权利要求1至8中任一项所述的SPC策略自动更新方法的SPC自动策略系统,其特征在于,包括:

数据抓取模块,用于从生产制造执行系统中抓取数据采集规格信息;

自动策略模块,用于为数据抓取模块抓取的数据采集规格信息建立SPC策略,并根据数据抓取模块新抓取的数据采集规格信息的修改类型对原有的SPC策略进行不同程度的修正:

若数据采集规格信息的修改类型为添加新的工艺参数,则保持SPC策略中原有工艺参数的配置数据不变,并按照预设更新公式在SPC策略中自动添加所述新的工艺参数的配置数据;

若数据采集规格信息的修改类型为删除工艺参数,则在SPC策略中自动删除对应的工艺参数的配置数据,并保持其余工艺参数的配置文件数据;

若数据采集规格信息的修改类型为修改工艺参数的数值,则在SPC策略中修改该工艺参数配置数据中的中间限值。

10.如权利要求9所述的SPC自动策略系统,其特征在于,还包括检验生效模块,用于在自动策略模块对原有的SPC策略进行不同程度的修正之后,检验所述修正是否正确,如果正确,修正后的SPC策略生效,如果错误,提示错误信息。

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