[发明专利]晶圆测试管理系统及方法

权利要求书

1.一种晶圆测试管理方法，包括如下步骤：

步骤一，对待测批次晶圆进行测试；

步骤二，获取待测批次晶圆测试后的测试数据；

步骤三，依据出货标准对测试数据进行结果判断；

步骤四，若符合出货标准，则输出该待测批次晶圆，结束该批次晶圆测试流程；若出错，则进入步骤五；

步骤五，自动将出错的晶圆停住；

步骤六，判断是否需要重新测试；

步骤七，若接收到重新测试指令，则提供用户设置重测条件，并进入步骤一。

2.如权利要求1所述的一种晶圆测试管理方法，其特征在于：于步骤七中，若接收到不重新测试指令，则对异常品进行特殊处理。

3.如权利要求2所述的一种晶圆测试管理方法，其特征在于：于步骤五之后，还包括如下步骤：

获取用户对该出错晶圆的选择处理；

若接收到用户的选择为通过，则输出待测批次晶圆，结束该批次晶圆测试流程，若接收到用户的选择为不通过，则进入步骤六。

4.如权利要求2所述的一种晶圆测试管理方法，其特征在于：所述特殊处理包括对待测批次晶圆整批报废或者单独分出出错的晶圆报废。

5.如权利要求4所述的一种晶圆测试管理方法，其特征在于：所述重测条件包括需重测的晶圆以及重测用的程式。

6.一种晶圆测试管理系统，包括：

测试及测试数据收集模块，对待测批次晶圆进行测试并收集待测批次晶圆测试后的测试数据；

测试数据判断模块，依据出货标准对测试数据进行结果判断，若符合出货标准，则通过输出模块输出待测批次晶圆，若出错，则启动出错停止模块；

出错停止模块，自动将该测试数据判断模块判断出错的晶圆停住；

重测判断模块，用于判断是否需要重测测试，若需重新测试，则启动重测设置模块；

重测设置模块，用于提供用户设置重测条件；

输出模块，用于输出该待测批次晶圆。

7.如权利要求6所述的一种晶圆测试管理系统，其特征在于：该系统还包括异常处理模块，于该重测判断模块判断不需重新测试时，对异常品进行特殊处理。

8.如权利要求7所述的一种晶圆测试管理系统，其特征在于：该系统还包括客户特采模组，于该出错停止模块将出错晶圆停止后判断是否申请客户特采以提供客户对出错晶圆的选择处理，若接收到用户的选择为通过，则通过输出模块输出该待测批次晶圆，若接收到用户的选择为不通过，则启动该重测判断模块。

9.如权利要求7所述的一种晶圆测试管理系统，其特征在于：所述特殊处理包括对待测批次晶圆整批报废或者单独分出出错的晶圆报废。

10.如权利要求9所述的一种晶圆测试管理系统，其特征在于：所述重测条件包括需重测的晶圆以及重测用的程式。