[发明专利]一种热源并联式碳化硅合成炉

权利要求书

1.一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，包括炉底(14)，所述炉底(14)上设置有环绕一周形成矩形围挡的保温外墙(8)，所述炉底(14)上方且位于保温外墙(8)内侧从下至上依次设置有底部透气层(15)和保温透气层(7)，所述底部透气层(15)上且位于保温透气层(7)的左右两侧均设置有带孔隙保温内墙(16)，所述带孔隙保温内墙(16)的两端均与保温外墙(8)紧密接触，所述保温透气层(7)上设置有与带孔隙保温内墙(16)平行的n个隔断墙，n个隔断墙将合成炉分隔成n+1个独立的单热源炉(1)，其中n为正整数，所述隔断墙包括两个平行设置的带孔隙保温墙(5)，所述单热源炉(1)内且位于保温外墙(8)的内壁上和单热源炉(1)内且位于带孔隙保温内墙(16)的内壁上均设置有碳粉层(4)，所述单热源炉(1)上方设置有用于密封单热源炉(1)顶部的密封顶盖(3)，左侧带孔隙保温内墙(16)的外壁与保温外墙(8)左侧内壁之间、右侧带孔隙保温内墙(16)的外壁与保温外墙(8)右侧内壁之间以及隔断墙的两个带孔隙保温墙(5)之间均设置有中空排气层(6)，所述中空排气层(6)上方设置有与中空排气层(6)相连通的导气管(10)，所述单热源炉(1)上方设置有与导气管(10)相连通的气体收集器(9)，所述气体收集器(9)上设置有用于将收集的气体排出的泄气管(11)。

2.根据权利要求1所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，所述泄气管(11)上安装有阀门(13)和压力表(12)。

3.根据权利要求1所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，所述带孔隙保温墙(5)的两端均与保温外墙(8)紧密接触。

4.根据权利要求1所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，n+1个所述单热源炉(1)内均设置有与隔断墙平行的炉芯(2)。

5.根据权利要求4所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，所述保温外墙(8)上且位于炉芯(2)的两端外均设置有用于给炉芯(2)通电的电极(17)。

6.根据权利要求1所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，所述底部透气层(15)为木屑透气层。

7.根据权利要求1所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，所述保温透气层(7)为透气砖层，所述带孔隙保温内墙(16)和带孔隙保温墙(5)均为透气砖墙。

8.根据权利要求7所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，所述透气砖层为刚玉尖晶石质钢包透气砖层。

9.根据权利要求7所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，所述透气砖墙为刚玉尖晶石质钢包透气砖墙。

10.根据权利要求1所述的一种热源并联式碳化硅合成炉，其特征在于，所述保温外墙(8)、带孔隙保温内墙(16)和带孔隙保温墙(5)的顶部均平齐。