[发明专利]一种微波等离子体炬装置

权利要求书

1.一种微波等离子体炬装置，其特征在于，包括腔体部分，微波耦合部分和调谐部分；腔体部分包括由内向外依次同轴设置的内管、中管、外管，腔体部分一端为开口端、另一端设置所述调谐部分用以调整开口端的场强，外管侧壁设有微波耦合开口，微波耦合部分经过该微波耦合开口与腔体部分微波耦合、在外管和中管间形成第一微波谐振腔，内管和中管间设有用以将内管和中管同轴固定的多孔垫片，所述第一微波谐振腔经过腔体部分的开口端将微波耦合至内管和中管间形成第二微波谐振腔，所述多孔垫片的上表面配置为该第二微波谐振腔的反射面；所述多孔垫片距离腔体部分开口端端面的距离范围在之间，其中，N为正奇数，λ为微波的波长。

2.如权利要求1所述的微波等离子体炬装置，其特征在于，所述外管、中管、内管和多孔垫片均为金属材质物件。

3.如权利要求1所述的微波等离子体炬装置，其特征在于，所述外管的内壁、中管的内外壁、内管的外壁，以及多孔垫片的上表面均由金属材质构成。

4.如权利要求1所述的微波等离子体炬装置，其特征在于，所述调谐部分调整至腔体部分的深度为M为正奇数，λ为微波的波长。

5.如权利要求1所述的微波等离子体炬装置，其特征在于，所述微波耦合部分包括耦合天线和耦合环，耦合环连接在中管外壁上，耦合天线一端穿过所述微波耦合开口连接耦合环、另一端连接微波传输线，将微波耦合至外管和中管间形成所述第一微波谐振腔。

6.如权利要求5所述的微波等离子体炬装置，其特征在于，所述耦合天线配置在腔体部分内电场分布最强位置处。

7.如权利要求5所述的微波等离子体炬装置，其特征在于，所述耦合环紧密连接中管外壁，或者，所述耦合环间隙连接中管外壁。

8.如权利要求1所述的微波等离子体炬装置，其特征在于，所述微波耦合部分包括耦合天线，该耦合天线一端穿过所述微波耦合开口连接调谐部分上表面、另一端连接微波传输线，将微波耦合至外管和中管间形成所述第一微波谐振腔。

9.如权利要求8所述的微波等离子体炬装置，其特征在于，所述耦合天线配置在腔体部分内磁场分布最强位置处。