[发明专利]用于消除因光罩随机错误而产生的晶圆坏点的方法有效
| 申请号： | 201510442738.8 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN106371291B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 杜杳隽 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/36;G03F1/72;G03F1/84 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 消除 随机 错误 产生 晶圆坏点 方法 | ||
【说明书】：
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