[发明专利]组合薄膜制备及原位表征系统

权利要求书

1.一种组合薄膜制备及原位表征系统，包括：

生长腔，所述生长腔中设有组合薄膜生长装置，用于在基片上生长组合薄膜；

至少一个表征腔，所述表征腔中设有组合薄膜表征装置；

准备腔，用于对所述基片进行预处理；

中转腔，所述中转腔同生长腔、表征腔以及准备腔之间分别通过管道连接，所述管道设有阀门；

机械臂，用于在所述中转腔、表征腔以及生长腔之间传递样品。

2.根据权利要求1所述的组合薄膜制备及原位表征系统，其中，所述组合薄膜生长装置选自脉冲激光沉积装置、磁控溅射装置以及分子束外延装置之一。

3.根据权利要求2所述的组合薄膜制备及原位表征系统，其中，所述分子束外延装置采用激光轰击靶材或者采用蒸发源，实现原子层生长。

4.根据权利要求1所述的组合薄膜制备及原位表征系统，其中，所述表征装置选自扫描探针显微镜、角分辨光电子能谱装置、霍尔测量装置、热输运测量装置、光电导测量装置和电子态表征装置之一。

5.根据权利要求1所述的组合薄膜制备及原位表征系统，其中，所述机械臂包括：

以第一方向为轴的360度自由旋转度的第一臂；

沿第二方向伸缩的第二臂，其中所述第一方向垂直于所述第二方向。

6.根据权利要求1所述的组合薄膜制备及原位表征系统，其中，所述组合薄膜制备及原位表征系统还包括进样腔，所述进样腔通过管道连接所述准备腔，所述管道设有阀门。

7.根据权利要求6所述的组合薄膜制造及原位表征系统，其中，在至少一个工作状态中，所述中转腔与所述生长腔、所述至少一个表征腔和所述准备腔中的两个腔室真空互联，使得可以经由所述中转腔在所述两个腔室之间转移样品。

8.根据权利要求6所述的组合薄膜制造及原位表征系统，其中，所述进样腔是唯一可以暴露于大气环境的腔室。

9.根据权利要求1所述的组合薄膜制造及原位表征系统，其中，所述生长腔用于生长连续梯度组分薄膜。

10.根据权利要求1所述的组合薄膜制造及原位表征系统，其中，组合薄膜样品和测量探针在所述准备腔中进行预处理。