[发明专利]光偏折检测模块及使用其检测及误差校正的方法

说明书

技术领域

本发明关于一种光偏折检测模块及使用其检测及误差校正的方法，特别是关于一种利用具有一矫正标准面的光偏折检测模块以进行检测及误差校正的方法。

背景技术

在现有技术中，针对圆片等具有一大致平坦表面的一待测物进行一表面检测的方式，大致可区分为两种，其分别为：(1)在圆片的上表面及下表面各设置一感测器，使两个感测器隔着圆片相互对位后，将两个感测器同时移动，以测量上、下表面在垂直轴上的变化，并藉此获得相关测量数据；以及(2)利用一真空吸附装置吸附圆片的下表面，使圆片呈现一吸平状态后，再利用检测装置检测圆片的上表面，以获得相关检测数据。

其中，将圆片吸平以进行检测的方式所需要的装置元件，虽然相较于以两个感测器分别测量圆片上、下表面的方式所需要的装置元件要来得精简，但在将圆片吸平以进行检测的方式中，用以放置圆片的一检测载台的一承载面，其相对于一实质水平面的误差，往往会对后续的检测结果造成相当大的影响。

如本领域技术人员所知悉，在表面检测方式(2)中，前述的检测载台因兼具有吸平圆片的作用，故检测载台上将同时具有多个环状设置的真空吸附沟槽，以协助进行圆片的下表面的吸附作业。

如此一来，该些环状设置的真空吸附沟槽，因为会在检测载台的承载面上形成极为细微的不规则起伏表面，而难以供检测装置进行该承载面与实质水平面间的误差的先前检测，而对后续检测结果造成相当大的影响。

有鉴于此，如何提供一种使用于吸平圆片检测方式的检测模块，使其可协助进行检测载台的承载面与实质水平面间的误差的先前检测，以供后续检测圆片的上表面并进行数值分析时，执行误差的校正作业，乃为此一业界亟待解决的问题。

发明内容

本发明的一目的在于提供具有一矫正标准面的一光偏折检测模块，使其可在进行一待测物的一表面的检测作业时作为一参考平面，以供进行后续的检测及误差校正作业。

为达上述目的，本发明的一种光偏折检测模块包含一检测载台、一面光源、至少两个扫描摄影机及一矫正标准面。检测载台用以承载待测物，面光源设置于检测载台上方，提供一平面光朝检测载台照射。至少两个扫描摄影机设置于面光源的相对侧。矫正标准面邻设于检测载台。其中，当面光源朝检测载台照射平面光后，平面光将会被待测物的表面及矫正标准面反射，至少两个扫描摄影机在接收被待测物的表面及矫正标准面所反射的平面光后，适于由一处理器进行一数值分析，以获得相关检测数据并进行误差校正作业。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的检测载台还包含一真空吸附部，以吸附固定待测物。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的面光源所发射的平面光为一可见光或一不可见光。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的面光源所发射的平面光为多个迭纹影像。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的至少两个扫描摄影机为面扫描摄影机。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的矫正标准面独立于检测载台设置。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的矫正标准面延伸自检测载台。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的矫正标准面与检测载台同时形成，以使矫正标准面与检测载台具有相同的表面高度或表面倾斜度。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的矫正标准面，其所具有的平面形状可为矩形、圆形或多边形。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的矫正标准面的面积大于或等于1公厘x1公厘。

为达上述目的，本发明的光偏折检测模块所具有的待测物为4吋、6吋及8吋圆片。

为达上述目的，本发明还包含一种检测及误差校正一待测物的一表面的方法，包含下列步骤：(a)提供一光偏折检测模块；(b)利用一检测载台所具有的一真空吸附部吸平待测物；(c)利用一面光源提供一平面光，以照射被吸平的待测物的表面及临设于检测载台的一矫正标准面；(d)利用至少两个扫描摄影机接收被待测物的表面及矫正标准面所反射的平面光；以及(e)利用一处理器分别分析被待测物的表面及矫正标准面所反射的平面光，以获得两者间的误差并进行校正作业。

为达上述目的，本发明的检测及误差校正方法所使用的面光源所发射的平面光为多个迭纹影像。

为让上述目的、技术特征、和优点能更明显易懂，下文以较佳实施例配合所附图示进行详细说明。

附图说明

图1为本发明的一光偏折检测模块的示意图；

图2为本发明的光偏折检测模块所具有的一检测载台的实施例示意图；