[发明专利]具备激光媒介物流道的激光振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及具备用于使激光媒介物循环的激光媒介物流道的激光振荡器。

背景技术

已知在具备配置于两个放电管之间的激光光路上的折回镜的激光振荡器中能够防止激光媒介物的流动在该折回镜的周围滞留的技术(例如，日本特开昭63-239888号公报以及日本特开2010-171145号公报)。

在具备多个放电管的激光振荡器中，这些放电管内的激光媒介物的压力分布互相不同时，产生的激光的激光功率不稳定。因此，谋求能使多个放电管内的激光媒介物的压力分布为一定、且不会滞留激光媒介物而循环的技术。

发明内容

涉及本发明的激光振荡器具备第一放电管及第二放电管、配置于第一放电管的第一端部与第二放电管的第一端部之间的第一导光管、流体化地与第一放电管、第二放电管以及第一导光管的每一个连通的激光媒介物流道、设置于激光媒介物流道并使激光媒介物在该激光媒介物流道、第一放电管以及第二放电管中循环的送风机。

送风机的排出口与第一放电管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻和排出口与第二放电管的第一端部之间的激光媒介物流道电阻互相相同。送风机的吸入口和与第一放电管相反侧的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、吸入口和第二放电管的与第一端部相反侧的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻互相相同。

排出口与第一导光管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、排出口和第一导光管的与第一端部相反侧的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻互相不同。

排出口与第一导光管的第一端部之间的激光媒介物流道的长度可以比排出口与第一导光管的第二端部之间的激光媒介物流道的长度短。排出口与第一导光管的第一端部之间的激光媒介物流道包括具备第一相当直径的部分，排出口与第一导光管的第二端部之间的激光媒介物流道可以包括具有比第一相当直径小的第二相当直径的部分。

激光振荡器还可以具备配置于排出口的下游侧以及吸入口的上游侧中的至少一侧，从对通过的激光媒介物除去热量的热交换器。激光振荡器还可以具备调整流经第一导光管内部的激光媒介物的流量的第一流量调整部。

流经第一放电管以及第二放电管内部的激光媒介物的流量相对于流经第一导光管内部的激光媒介物的流量的比大于10且小于15。

激光振荡器还可以具备具有第一端部以及与该第一端部相反侧的第二端部的第三放电管、配置于第二放电管的第二端部与第三放电管的第二端部之间的第二导光管。在这种情况中，激光媒介物流道可以流体化地与第二导光管和第三放电管的每一个连通。

排出口与第三放电管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、排出口与第一放电管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻可以互相相同。吸入口与第三放电管的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、吸入口与第一放电管的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻可以互相相同。

吸入口与第二导光管的第一端部之间的激光媒介物流道的流道电阻、吸入口和第二导光管的与第一端部相反侧的第二端部之间的激光媒介物流道的流道电阻可以互相不同。

吸入口与第二导光管的第一端部之间的激光媒介物流道的长度可以比吸入口与第二导光管的第二端部之间的激光媒介物流道的长度长。吸入口与第二导光管的第一端部之间的激光媒介物流道包括具备第三相当直径的部分，吸入口与第二导光管的第二端部之间的激光媒介物流道可以包括具备比第三相当直径大的第四相当直径的部分。

流经第一放电管、第二放电管以及第三放电管内部的激光媒介物的流量相对于流经第一导光管以及第二导光管内部的激光媒介物的流量的比可以大于10且小于15。激光振荡器还可以具备调整流经第二导光管内部的激光媒介物的流量的第二流量调整部。

附图说明

本发明的上述或其他的目的、特征以及优点通过参照附图说明以下适当的实施方式，会更加清楚。

图1是涉及一实施方式的激光振荡器的概略图。

图2表示图1中所示的激光媒介物流道的等效电路。

图3表示图1中所示的激光媒介物流道的一例。

图4表示图1中所示的激光媒介物流道的其他例子。

图5表示图1中所示的激光媒介物流道的另一其他例子。

图6是涉及其他实施方式的激光振荡器的概略图。

图7A是表示图6中所示的光圈机构的一例的图，表示光圈机构全部打开的状态。

图7B表示光圈机构半开的状态。

图7C表示光圈机构最紧闭的状态。