[发明专利]掠入射型微孔x射线光学元件的热弯装置

权利要求书

1.一种掠入射型微孔x射线光学元件的热弯装置，其特征在于，包括真空加热炉、真空泵、控制柜、压力控制执行机构以及热弯模具机构，其中：

热弯模具机构安置在真空加热炉的内部等温区内；

压力控制执行机构位于真空加热炉的正上方，通过开口波纹管与真空加热炉相连接，压力控制执行机构输出的压力通过热弯模具机构施加到装载在热弯模具机构内的光学元件上；

真空泵通过真空管路与真空加热炉相连接；

所述控制柜用于热弯装置的压力、温度和真空度控制，其具有一个工控机，控制压力控制执行机构、真空加热炉以及真空泵的运行：热弯装置工作时，通过真空泵保持真空加热炉的等温区腔体内的真空度；真空加热炉在控制柜设定的温度区间范围内保持其等温区的温度；以及通过压力控制执行机构的运行使压力经由热弯模具机构施加到光学元件上来热弯光学元件；

前述压力控制执行机构包括：电机、减速器、连杆、丝杠以及压块，其中：

电机与控制柜电连接，接收控制柜发出的控制信号而通过电机输出轴输出旋转扭矩；

减速器的输入端与电机输出轴连接，其输出端与连杆连接；

连杆将减速器输出的旋转扭矩传递到丝杠上，使得丝杠运动；

丝杠的临近真空加热炉的端头与所述压块固定，压块与丝杠同步运动；

压块的另一端与热弯模具机构连接，以将丝杠运动产生压力传递至热弯模具机构；

前述热弯模具机构包括：底座、热弯模具、定位圈、下连杆以及上连杆，所述热弯模具可拆卸地安装在底座的定位槽内，热弯模具由上模具和下模具构成，其中：

底座安置在真空加热炉的内部等温区内，热弯模具安装在底座的定位槽内，定位圈安装在热弯模具上以固定热弯模具的上模具和下模具；

下连杆与定位圈紧固配合，设置在上模具的上方；

上连杆的一端通过螺纹与下连杆连接，其另一端与所述压力控制执行机构的压块相连接；

上模具的底部具有一定弧度，下模具所形成的模具腔底部具有与上模具底部配套的弧度；

通过所述压块而传递的压力依次经由上连杆、下连杆施加到热弯模具上，进而使得装载在热弯模具的上模具与下模具之间的光学元件由平板变成球面。

2.根据权利要求1所述的掠入射型微孔x射线光学元件的热弯装置，其特征在于，所述压力控制执行机构的压块具有一中心孔，所述热弯模具机构的上连杆的另一端通过该中心孔与压块紧固连接。

3.根据权利要求1所述的掠入射型微孔x射线光学元件的热弯装置，其特征在于，所述热弯模具的材料为不锈钢，其线膨胀系数在30×10^-7～90×10^-7/℃。

4.根据权利要求1所述的掠入射型微孔x射线光学元件的热弯装置，其特征在于，所述真空泵为无油真空泵，且真空度优于1×10^-2mbar。