[发明专利]靶材组件的表面处理方法和工具有效
| 申请号： | 201510447283.9 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106378493B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李健成 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23D79/00 | 分类号： | B23D79/00;B23K3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 安徽省合肥市新站区东方大道与大禹路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 组件 表面 处理 方法 工具 | ||
【说明书】：
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