[发明专利]一种光纤刻蚀光栅传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201510447802.1 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106404010A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 冉曾令;杨科;吴学忠 | 申请（专利权）人： | 冉曾令;杨科;吴学忠 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 刻蚀 光栅 传感器 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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