[发明专利]一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元有效
| 申请号： | 201510449198.6 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN105004430B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 胡旭;杨春丽;雷晓红;魏虹;王冰;韩福忠;秦强;吴思晋 | 申请（专利权）人： | 昆明物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 53100 昆明正原专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐玲菊<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振腔 非制冷红外焦平面探测器 半透明金属层 探测器单元 有机介质层 敏感单元 镂空 光电信号转换 测量分辨率 反射金属层 空间分辨率 反射金属 固定设置 灵敏度 串扰 减小 线条 | ||
1.一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元，使用时通过上电极引线及下电极引线与信号处理电路模块连接；其包括谐振腔，以及固定设置于谐振腔下方用于实现光电信号转换的探测器单元；其特征在于：信号处理电路模块设于探测器单元下方，作为垂直支撑结构；谐振腔由依次设置的半透明金属层、有机介质层及反射金属层叠置构成；所述谐振腔的半透明金属层、有机介质层及反射金属层中至少一层设置有镂空的线条和/或图形；所述线条为直线和曲线，其中，谐振腔是在上下极板的垂直电场作用下氧气和氩气的等离子体的物理化学作用，使得光刻胶没有掩蔽的图形部分被垂直刻蚀，使得谐振腔被刻蚀穿，谐振腔表面形成光刻胶掩蔽的图形，光刻胶没有掩蔽的图形部分被垂直刻蚀，谐振腔蚀穿后作为一个整体，使得谐振腔的热串扰能够有效减小，探测器单元的空间分辨率提高。
2.根据权利要求1所述非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元，其特征在于：所述反射金属层上设置镂空的线条和/或图形；所述线条为直线和曲线。
3.根据权利要求1所述非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元，其特征在于：所述半透明金属与有机介质层上设置镂空的线条和/或图形；所述线条为直线和曲线。
4.根据权利要求1所述非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元，其特征在于：所述线条为直线和曲线，将谐振腔的半透明金属层、有机介质层及反射金属层中的任意一层或两层分隔成两部分。
5.根据权利要求1所述非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元，其特征在于：所述上电极引线连接于半透明金属层的顶面。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆明物理研究所，未经昆明物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510449198.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
