[发明专利]一种基于体硅材料的外力驱动MEMS开关及其制作方法

权利要求书

1.一种基于体硅材料的外力驱动MEMS开关，其特征在于：包括衬底（5）、设置在衬底上的微带线的信号线（1）、开关动端（3）、开关静端（4）；所述微带线的信号线（1）中间部分断开，所述开关动端（3）和所述开关静端（4）分别与所述微带线的信号线（1）中间断开部分两端的信号线连接；所述开关动端（3）与所述开关静端（4）均沿着垂直衬底（5）的方向延伸，并组成开关结构；所述开关动端（3）为末端能够变形的弹簧结构；当二者连通时，所述开关动端（3）的弹簧末端正好与所述开关静端（4）的末端接触。

2.根据权利要求1所述的基于体硅材料的外力驱动MEMS开关，其特征在于：所述开关动端（3）为末端能够下压的S形弹簧结构，所述开关静端（4）为反向的C形结构。

3.根据权利要求1所述的基于体硅材料的外力驱动MEMS开关，其特征在于：所述结构通过微电子加工工艺，采用硅材料制作。

4.根据权利要求1所述的基于体硅材料的外力驱动MEMS开关，其特征在于：所述结构采用高阻硅材料，并在表面电镀金属实现导电。

5.一种制作如权利要求1所述的基于体硅材料的外力驱动MEMS开关的制作方法，步骤如下：

1）准备高阻硅衬底，在所述高阻硅衬底侧面光刻、显影出开关动端和开关静端图形；

2）深反应离子刻蚀刻蚀掉多余硅体，去胶，形成开关动端结构和反向开关静端结构；

3）减薄硅片，正面电镀金，反面电镀金；

4）划片，将相同的开关结构化成单独的一个个结构，形成单独的开关动端与开关静端结构；

5）微组装开关动端和开关静端结构，得到完整开关结构。