[发明专利]一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置有效
申请号: | 201510455274.4 | 申请日: | 2015-07-30 |
公开(公告)号: | CN104992922B | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 陈许平 | 申请(专利权)人: | 南通皋鑫电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司11335 | 代理人: | 孙民兴,王维新 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 进出 自动 推拉 系统 装置 | ||
1.一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置,它包括扩散炉、滑座、调速电机、滑块、丝杆、机械臂、推拉杆、机械手,其特征是扩散炉一侧装有滑座,滑座内装有滑块,滑块内装有丝杆,丝杆一端装有调速电机,滑座外侧装有推拉杆,推拉杆一端通过圆销连接滑块上端,推拉杆另一端穿过导轮支撑连接机械臂,机械臂下端连接机械手;滑座上端左侧装有第一停止感应光偶,滑座上端右侧装有第二停止感应光偶,第一停止感应光偶右侧10cm处装有减速感应光偶,推拉杆右端上面装有感应块;所述的机械手包括销杆、锁紧螺钉、固定夹、活动夹、螺钉和橡胶垫,销杆一端贯穿机械臂下端,锁紧螺钉旋紧装在机械臂底部把销杆固定压紧,销杆另一端连接固定夹,固定夹是L型状,固定夹上端装有活动夹,螺钉从固定夹下端贯穿且上端旋入活动夹内,活动夹和固定夹内侧都开有V型夹口,V型夹口内侧装有橡胶垫。
2.根据权利要求1所述的一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置,其特征是所述的导轮支撑包括支架和导轮,支架装在扩散炉侧面位于滑座左侧,支架内部设计长方形通道,通道内部上端和下端分别装有导轮,导轮中间开有V型环槽。
3.根据权利要求1所述的一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置,其特征是所述的推拉杆是方形钢杆。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通皋鑫电子股份有限公司,未经南通皋鑫电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510455274.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:晶圆级芯片封装结构
- 下一篇:一种刻蚀装置及刻蚀方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造