[发明专利]一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置

权利要求书

1.一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置，其特征是：包括有第一腔镜、第二腔镜、校正元件、倾斜元件、探测光源、探测光导出镜、探测光导入镜、远场探测器、聚焦镜、校正元件控制器；所述第一腔镜、第二腔镜、校正元件和倾斜元件组成激光谐振腔；所述第一腔镜和第二腔镜相对设置在激光谐振腔的两端且与激光光轴垂直；所述校正元件和倾斜元件设置在第一腔镜和第二腔镜之间；所述探测光导入镜和探测光导出镜设置在激光谐振腔内；所述探测光导入镜能够将探测光光源发出的探测光导入激光谐振腔；所述探测光导出镜能够将激光谐振腔中的探测光导出到聚焦镜后射入远场探测器；所述远场探测器设置在聚焦镜的焦面上；所述探测光导入镜和探测光导出镜均为平面镜且一面镀有针对激光的増透膜和针对探测光的部分反射膜，另一面镀有针对激光的増透膜和针对探测光的増透膜，激光光轴穿过探测光导入镜和探测光导出镜且光轴与镜面之间有一定夹角，激光通过探测光导入镜和探测光导出镜时传输方向不发生变化；所述探测光的波长与激光谐振腔内的激光波长不一致；所述校正元件控制器能够根据远场探测器接收的光斑信号控制校正元件对激光谐振腔内的倾斜相差进行校正；所述校正元件为补偿折镜；所述探测光在探测光导入镜前的曲率半径与激光谐振腔内的激光相匹配。

2. 根据权利要求1所述的一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置，其特征是：所述远场探测器为远场CDD或四象限仪。

3. 根据权利要求1所述的一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置，其特征是：所述激光谐振腔中还包括有耦合输出镜。

4. 根据权利要求1所述的一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置，其特征是：所述第一腔镜为平面镜或凹面镜，其镜面镀有针对激光波长的高反膜或部分反射膜。

5. 根据权利要求1所述的一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置，其特征是：所述第二腔镜为平面镜或凹面镜，其镜面镀有针对激光波长的高反膜或部分反射膜。

6. 根据权利要求1所述的一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置，其特征是：所述倾斜元件为具有倾斜像差的反射型增益介质或具有倾斜像差的透射型增益介质。

7. 根据权利要求1所述的一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置，其特征是：所述校正元件的数量为一个或多个且能够放置在激光谐振腔内的任意位置。

8. 根据权利要求1所述的一种基于往返探测的腔内倾斜像差主动补偿装置，其特征是：所述倾斜元件包括但不限于激光增益介质。