[发明专利]一种真空旋转基片承载盘有效
| 申请号： | 201510457426.4 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105018893B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;武启飞;陈敏 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司32102 | 代理人： | 陆明耀,陈忠辉 |
| 地址： | 215222 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 旋转 承载 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空旋转基片承载盘，其特征在于：包括磁流体主体，所述磁流体主体下方通过转动轴依次连接有基片盘、掩膜盘及挡板，所述挡板与掩膜盘相对转动，所述磁流体主体的上方套设有一转动把手，所述把手与磁流体主体之间设置有定位盘，所述转动把手转动带动磁流体主体转动，所述基片盘上开设有基片孔，所述基片孔下设置有基片托盘，所述挡板上于基片孔相应位置开设有孔，所述掩膜盘上通过磁性连接有掩膜板，所述转动把手上连接有一指针，所述转动把手转动带动指针在定位盘上进行指示，所述磁流体主体上设置有冷却水接口。
2.根据权利要求1所述的一种真空旋转基片承载盘，其特征在于：所述基片孔设置有4个，所述挡板上开设的孔数量小于基片孔的数量。
3.根据权利要求1所述的一种真空旋转基片承载盘，其特征在于：所述掩膜板与掩膜盘通过定位销固定。
4.根据权利要求1所述的一种真空旋转基片承载盘，其特征在于：所述转动轴上套设有提升套，所述提升套的一端与基片盘通过螺栓固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空旋转基片承载盘，其特征在于：所述掩膜盘通过螺栓与转动轴固定。
6.根据权利要求1所述的一种真空旋转基片承载盘，其特征在于：每块所述掩膜板上设置有两种图案。
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