[发明专利]一种金属遮罩的对位方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种金属蒸镀技术，尤其涉及一种用于OLED蒸镀的金属遮罩的对位方法。

背景技术

近年来，有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示器以轻薄、主动发光、响应速度快、视角广、色彩丰富、亮度高、功耗低以及耐高低温等诸多优点而被业界认为是继液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)之后的新型显示技术，OLED显示器可广泛应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。

在现有技术中，对OLED进行蒸镀是在真空室内，将作为处理对象的OLED基板朝向下安装其蒸镀面，当蒸镀用的金属遮罩配置在OLED基板的蒸镀面与蒸镀源之间时，将蒸镀源加热以使蒸镀材料蒸发，并经由金属遮罩的开孔使其附着于OLED基板表面而进行蒸镀。例如，OLED基板采用精细金属遮罩(FineMetalMask，FMM)蒸镀有机发光材料来制备彩色化像素图案，该精细金属遮罩包括开孔和桥，开孔与需蒸镀的有机发光材料子像素区域精确对位并保持一致，桥用于防止有机发光材料蒸镀到其它区域。当蒸镀红色发光材料时，使精细金属遮罩的开孔正对红色子像素，而绿色子像素和蓝色子像素被遮罩遮挡，这样从蒸镀源发出的红色发光材料就可以仅沉积在红色子像素区；在红色发光材料蒸镀完成后，遮罩平移一个子像素的距离使开孔对准另一颜色的子像素，以此类推完成RGB三基色材料的蒸镀，从而形成彩色化像素图案。由于显示屏的像素较为密集，导致连接相邻子像素开孔的肋骨宽度非常小，一旦解析度要求提高时，则很难精确地形成彩色化像素图案。这是因为，在当前的蒸镀制程工艺中，蒸镀定义OLED基板的红色子像素、绿色子像素和蓝色子像素时，往往使用整张一体成型或整张分割形态的精细金属遮罩进行高精准对位(诸如，数个微米的对位等级)，首先大尺寸的整张精细金属遮罩不易制作，此外还需考虑整张遮罩和OLED基板的对位容忍度。如果遮罩和基板的对位精度控制不好，容易造成像素的混色现象，降低像素发光开口率，从而降低整个OLED基板的产品良率。

有鉴于此，如何设计一种用于高分辨率的OLED基板的金属遮罩之对位方法，以消除因对位精度较差所引起的相邻像素间的混色现象，从而克服现有技术中的上述缺陷或不足，是业内相关技术人员亟待解决的一项课题。

发明内容

针对现有技术中的金属遮罩与OLED基板对位精度较差所引起的相邻像素间的混色问题，本发明提供了一种新颖的、用于OLED蒸镀的金属遮罩的对位方法。

依据本发明的一个方面，提供了一种金属遮罩的对位方法，适于高分辨率的OLED显示器，该对位方法包括以下步骤：

提供一磁铁板；

形成多个OLED基板于所述磁铁板的上方；

形成一精细金属遮罩(FineMetalMask，FMM)于所述OLED基板的上方；

根据所述OLED基板的数量及每个OLED基板的尺寸，将所述精细金属遮罩至少分割为第一直排群组和第二直排群组；以及

提供一蒸镀源依次对所述第一直排群组和所述第二直排群组进行蒸镀，以定义单一颜色的子像素图案。

在其中的一实施例，所述蒸镀源的蒸镀方向为垂直蒸镀、水平上方蒸镀或水平下方蒸镀。

在其中的一实施例，所述蒸镀源为点蒸镀源、线蒸镀源或平面蒸镀源。

在其中的一实施例，所述第一直排群组或所述第二直排群组与所述OLED基板的对位精度取决于单一的误差精度。

在其中的一实施例，若所述精细金属遮罩的坐标精度为A，所述第一直排群组与所述OLED基板的对位误差精度为a，所述第二直排群组与所述OLED基板的对位误差精度为b，则A等于a与b之和。

依据本发明的另一个方面，提供了一种金属遮罩的对位方法，适于高分辨率的OLED显示器，该对位方法包括以下步骤：

提供一磁铁板；

形成一OLED基板于所述磁铁板的上方；

形成第一精细金属遮罩群组于所述OLED基板的上方；

提供一蒸镀源对所述第一精细金属遮罩群组进行蒸镀，以定义单一颜色的子像素图案；

形成第二精细金属遮罩群组于所述OLED基板的上方，所述第二精细金属遮罩群组的位置不同于所述第一精细金属遮罩群组的位置；以及

利用所述蒸镀源对所述第二精细金属遮罩群组进行蒸镀，以定义所述单一颜色的子像素图案，直至所述OLED基板中所有的所述单一颜色的子像素图案均被定义完成。