[发明专利]一种大面积多孔微纳复合结构的可控制备方法在审
| 申请号： | 201510459068.0 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105129723A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王凯歌;王磊;王雪文;张琛;孙聃;王爽;白晋涛 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y40/00;C25D11/12 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 710069 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 多孔 复合 结构 可控 制备 方法 | ||
1.一种大面积多孔微纳复合结构的可控制备方法，其特征在于：该方法通过光刻法得到微米结构，通过阳极氧化法生长纳米结构，形成多孔微纳复合结构。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的微纳复合结构以铝片作为基体。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的形成多孔微纳复合结构时，通过先光刻再阳极氧化的方式在微米结构上生长纳米结构；或者通过先光刻再腐蚀，最后阳极氧化的方式在微米结构上生长纳米结构；或者通过先阳极氧化，再光刻，最后腐蚀的方式在纳米结构上形成微米结构。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：所述的腐蚀用的腐蚀液为浓度为5wt％的NaOH溶液。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的光刻完成后，光刻胶脱模清洗时，使用光刻胶去膜剂，在80℃，超声处理15min；然后用去离子水冲洗后，采用丙酮常温超声处理10min，去除光刻胶去膜剂，乙醇清洗，再用去离子水常温超声处理10min。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的阳极氧化过程如下所述：
步骤S1，5℃条件下，外加40V直流稳压电源，利用浓度为0.3mol/L草酸溶液进行第一次阳极氧化，持续时间30min；
步骤S2，60℃下使用除膜液进行除膜，持续时间10min；
步骤S3，5℃条件下，外加40V直流稳压电源，利用浓度为0.3mol/L草酸溶液进行第二次阳极氧化，持续时间2～3h；
步骤S4，扩孔，持续时间30min。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于：所述的除膜液为磷酸与铬酸的混合液，其中磷酸的浓度为6wt％，铬酸的浓度为1.8wt％。
8.如权利要求6所述的方法，其特征在于：所述的扩孔采用浓度为10wt％的磷酸溶液。
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