[发明专利]基于柔性铰链的可调预紧式粘滑驱动定位平台

权利要求书

1.一种基于柔性铰链的可调预紧式粘滑驱动定位平台，其特征在于：包括基座、安装于基座上的摩擦振子、安装于基座和摩擦振子之间的振子驱动源和设置于摩擦振子上方的滑台，所述摩擦振子包括传动柔性铰链、惯性质量块和凸台，所述凸台上方与滑台直接接触，下方设有用于调整凸台和滑台之间预紧力的预紧力调整机构；

所述预紧力调整机构包括预紧柔性铰链和预紧调整螺栓，所述预紧柔性铰链位于摩擦振子内部，预紧柔性铰链在预紧调整螺栓作用下发生变形，从而调整凸台与滑台之间的预紧力大小。

2.如权利要求1所述的可调预紧式粘滑驱动定位平台，其特征在于：所述预紧力调整机构与摩擦振子加工成一体。

3.如权利要求1所述的可调预紧式粘滑驱动定位平台，其特征在于：所述预紧力调整机构中预紧柔性铰链为平行板柔性铰链。

4.如权利要求1所述的可调预紧式粘滑驱动定位平台，其特征在于：所述预紧柔性铰链上方与所述凸台接触，下方与惯性质量块接触，所述预紧调整螺栓安装于惯性质量块下方的螺纹孔中，并贯穿整个质量块，纵向延伸至预紧柔性铰链底部。

5.如权利要求1所述的可调预紧式粘滑驱动定位平台，其特征在于：还包括双列交叉滚柱导轨，所述双列交叉滚柱导轨通过固定螺栓固定于所述基座上，所述滑台沿着双列交叉滚柱导轨运动。

6.如权利要求5所述的可调预紧式粘滑驱动定位平台，其特征在于：所述基座上设有导轨安装台阶，导轨安装台阶与双列交叉滚柱导轨的底部接触，所述导轨安装台阶的外侧设有导轨安装基准面，用于双列交叉滚柱导轨安装的定位。

7.如权利要求6所述的可调预紧式粘滑驱动定位平台，其特征在于：所述导轨安装基准面上设有导轨调整螺栓，导轨调整螺栓一端与双列交叉滚柱导轨的侧面接触，另一端位于导轨安装基准面外侧。