[发明专利]防紫外线、防静电复合膜层制造方法

权利要求书

1.一种防紫外线、防静电复合膜层制造方法，其特征在于：在待镀玻璃表面镀上防紫外线复合膜层，然后再镀上1层ATO膜层；所述防紫外线复合膜层由18层SiO₂膜层与18层TiO₂膜层依次间隔叠合而成，每一膜层的膜厚均不相同且呈厚、薄间隔分布。

2.根据权利要求1所述的防紫外线、防静电复合膜层制造方法，其特征在于：利用镀膜机进行蒸发法真空镀膜，镀膜机内置霍尔离子源，在镀膜前先发射出离子束轰击玻璃表面以增强玻璃与电镀膜层之间的附着力；采用扇形伞具作为镀膜治具，伞具材质使用6mm厚的铝板，根据产品外形在铝板上加工出放置产品的型腔，将待镀膜的玻璃放置在伞具型腔中，使用螺丝将装载好产品的伞具固定在镀膜机内部顶端，通过设备高速旋转下完成膜层的电镀；取TiO₂和SiO₂坩埚各12个分别装于镀膜机转盘内，氧化锡锑使用钨舟承载，放于电极上夹紧；镀膜步骤为：(1)先将待镀膜的手机玻璃放至专用伞具中，放置在镀膜机上方的旋转架上，关闭真空室大门，抽真空；(2)真空度达到8.0E-5Torr时，用500mA电流对TiO₂预熔3分钟；(3)真空度达到3.0E-5Torr时，离子源对玻璃表面轰击清洗，氩气流量15±5Sccm，阳极电压120V，阳极电流6±1A，灯丝电流17±2A，清洗时间5min，当温度达到80℃恒温10分钟进行自动镀膜。