[发明专利]一种自动放行WATPM探针卡的系统及方法有效
申请号: | 201510460280.9 | 申请日: | 2015-07-30 |
公开(公告)号: | CN105097597B | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 赵朝珍;周波 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人: | 吴世华,陈慧弘 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 放行 wat pm 探针 系统 方法 | ||
1.一种自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,包括:
存储模块,将获取的针对WAT PM探针卡包括射频识别的牢固性、基座的完好、漏电、针尖直径、探针角度在内的各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库;
判断模块,根据系统中针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值,对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断,并输出判断结果;
处理模块,根据所述判断结果,发出是否放行的指令;其中,所述处理模块在全部的检查数据结果符合规格值时,发出放行的指令,并针对每一个不符合规格值的检查数据结果,逐一发出不予放行的指令。
2.根据权利要求1所述的自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,所述处理模块包括邮件发送单元,并通过该邮件发送单元以内部邮件的方式发出是否放行的指令。
3.根据权利要求1或2所述的自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,还包括重置模块,在所述处理模块发出放行的指令前,将所述探针卡的扎针次数记录重置。
4.根据权利要求3所述的自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,还包括切换模块,在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前,将所述探针卡的机台状态进行切换。
5.一种自动放行WAT PM探针卡的方法,其特征在于,包括:
利用一存储模块,将获取的针对WAT PM探针卡包括射频识别的牢固性、基座的完好、漏电、针尖直径、探针角度在内的各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库;
利用一判断模块,根据针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值,对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断,并输出判断结果;
利用一处理模块,根据所述判断结果,发出是否放行的指令;其中,在全部的检查数据结果符合规格值时,通过所述处理模块发出放行的指令,并且,针对每一个不符合规格值的检查数据结果,通过所述处理模块逐一发出不予放行的指令。
6.根据权利要求5所述的自动放行WAT PM探针卡的方法,其特征在于,通过所述处理模块的邮件发送单元,以内部邮件的方式发出是否放行的指令。
7.根据权利要求5或6所述的自动放行WAT PM探针卡的方法,其特征在于,利用一重置模块,在所述处理模块发出放行的指令前,将所述探针卡的扎针次数记录重置。
8.根据权利要求7所述的自动放行WAT PM探针卡的方法,其特征在于,利用一切换模块,在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前,将所述探针卡的机台状态进行切换。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510460280.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造