[发明专利]一种自动放行WATPM探针卡的系统及方法有效

专利信息
申请号: 201510460280.9 申请日: 2015-07-30
公开(公告)号: CN105097597B 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 赵朝珍;周波 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 代理人: 吴世华,陈慧弘
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 放行 wat pm 探针 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,包括:

存储模块,将获取的针对WAT PM探针卡包括射频识别的牢固性、基座的完好、漏电、针尖直径、探针角度在内的各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库;

判断模块,根据系统中针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值,对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断,并输出判断结果;

处理模块,根据所述判断结果,发出是否放行的指令;其中,所述处理模块在全部的检查数据结果符合规格值时,发出放行的指令,并针对每一个不符合规格值的检查数据结果,逐一发出不予放行的指令。

2.根据权利要求1所述的自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,所述处理模块包括邮件发送单元,并通过该邮件发送单元以内部邮件的方式发出是否放行的指令。

3.根据权利要求1或2所述的自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,还包括重置模块,在所述处理模块发出放行的指令前,将所述探针卡的扎针次数记录重置。

4.根据权利要求3所述的自动放行WAT PM探针卡的系统,其特征在于,还包括切换模块,在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前,将所述探针卡的机台状态进行切换。

5.一种自动放行WAT PM探针卡的方法,其特征在于,包括:

利用一存储模块,将获取的针对WAT PM探针卡包括射频识别的牢固性、基座的完好、漏电、针尖直径、探针角度在内的各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库;

利用一判断模块,根据针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值,对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断,并输出判断结果;

利用一处理模块,根据所述判断结果,发出是否放行的指令;其中,在全部的检查数据结果符合规格值时,通过所述处理模块发出放行的指令,并且,针对每一个不符合规格值的检查数据结果,通过所述处理模块逐一发出不予放行的指令。

6.根据权利要求5所述的自动放行WAT PM探针卡的方法,其特征在于,通过所述处理模块的邮件发送单元,以内部邮件的方式发出是否放行的指令。

7.根据权利要求5或6所述的自动放行WAT PM探针卡的方法,其特征在于,利用一重置模块,在所述处理模块发出放行的指令前,将所述探针卡的扎针次数记录重置。

8.根据权利要求7所述的自动放行WAT PM探针卡的方法,其特征在于,利用一切换模块,在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前,将所述探针卡的机台状态进行切换。

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