[发明专利]一种高精确的贴膜装置及其膜片位置微调方法

权利要求书

1.一种高精确的贴膜装置，包括相邻的吸膜板和基座，所述吸膜板设有若干个通孔，所述吸膜板连接有用于将膜片吸附在吸膜板上的真空泵，其特征在于：

所述基座设有真空电磁阀、节流阀、膜片位置校正器和用于膜片位置校正时破真空的第一吹气装置，

所述真空电磁阀与所述真空泵连接，吸膜板吸膜片时，所述真空电磁阀转换至最大真空吸附档，

所述节流阀设于真空泵的管道，膜片位置校正器工作时，开启所述节流阀使得所述真空电磁阀转换至最小真空吸附档，同时间令第一吹气装置工作0.4至0.6秒，

所述膜片位置校正器位于所述吸膜板的侧边；

所述膜片位置校正器包括用于从第一方向推动膜片的第一校正器和用于从第二方向推动膜片的第二校正器，所述第一校正器和第二校正器互相垂直设置，所述第一校正器和所述第二校正器同时推动膜片;

所述吸膜板的下方设有在抽真空的同时用于为膜片提供支撑力的第二吹气装置，所述支撑力的方向与所述真空泵抽真空的力的方向相同；

所述基座设有抽真空气管，所述真空泵与抽真空气管连通；

所述基座设有吹气气管，所述第一吹气装置与吹气气管连通。

2.如权利要求1所述的一种高精确的贴膜装置，其特征在于：所述第一校正器设有用于调节第一校正块的高度的第一精密螺丝，所述第二校正器设有用于调节第二校正块的高度的第二精密螺丝。

3.如权利要求1所述的一种高精确的贴膜装置，其特征在于：所述第一校正器包括第一校正块、第一导向块和第一驱动器，所述第一导向块设有第一竖直导向孔，所述第一驱动器设有第一竖直导向轴，所述第一竖直导向轴穿过所述第一竖直导向孔与所述第一校正块连接，所述第一驱动器驱动所述第一校正块往复运动，

所述第二校正器包括第二校正块、第二导向块和第二驱动器，所述第二导向块设有第二竖直导向孔，所述第二驱动器设有第二竖直导向轴，所述第二竖直导向轴穿过所述第二竖直导向孔与所述第二校正块连接。

4.如权利要求3所述的一种高精确的贴膜装置，其特征在于：所述第一校正块与所述第一驱动器互相垂直设置，所述第一校正器还设有第三驱动器，所述第三驱动器设有第一水平导向轴和与所述第一水平导向轴配合的第一水平直线轴承，所述第一导向块还设有第一水平导向孔，所述第一水平导向轴穿过所述第一水平导向孔，

所述第二校正块与所述第二驱动器互相垂直设置，所述第二校正器还设有第四驱动器，所述第四驱动器设有第二水平导向轴和与所述第二水平导向轴配合的第二水平直线轴承，所述第二导向块还设有第二水平导向孔，所述第二水平导向轴穿过所述第二水平导向孔。

5.如权利要求4所述的一种高精确的贴膜装置，其特征在于：

所述第一竖直导向轴设置有两个，对应地，与第一竖直导向轴配合的第一竖直直线轴承设置有两个；

所述第二竖直导向轴设置有两个，对应地，与第二竖直导向轴配合的第二竖直直线轴承设置有两个；

所述第一水平导向轴设置有两个，对应地，所述第一水平直线轴承设置有两个；

所述第二水平导向轴设置有两个，对应地，所述第二水平直线轴承设置有两个。

6.如权利要求1所述的一种高精确的贴膜装置，其特征在于：所述吸膜板还包括至少一个排气孔，所述排气孔位于膜片覆盖区域之外。

7.权利要求1至6任意一项所述的一种高精确的贴膜装置的膜片位置微调方法，其特征在于：包括如下步骤：

（1）在真空泵的管道连接真空电磁阀和节流阀；

（2）在基座设置有第一吹气装置；

（3）膜片被吸膜板吸取后，控制节流阀使真空泵的真空电磁阀转换到弱小真空档，转换的瞬间使第一吹气装置沿真空泵抽气的方向的相反方向通过吸膜板的通孔对膜片吹气约0.4至0.6秒；

（4）膜片位置校正器对膜片的位置进行校正。