[发明专利]流量控制装置和流量控制方法

权利要求书

1.一种流量控制装置，其特征在于，

包括：

阀，设置在流体流动的流道内；

流量传感器，在所述流道内设置在比所述阀靠向上游；

阀控制部，根据设定流量值与由所述流量传感器测量出的测量流量值之间的偏差和设定的控制系数，以使所述偏差变小的方式控制所述阀；以及

控制系数设定部，根据所述阀上游的压力或所述设定流量值设定所述阀控制部的所述控制系数，

所述控制系数是以如下方式设定的值，在所述阀的上游产生扰动压力上升时，使作为与所述阀的开度的减少量对应的流量减少量的扰动流量减少量和作为与所述阀前后的压差的增加量对应的流量增加量的扰动流量增加量实质上均衡。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述阀控制部利用PID控制来控制所述阀的开度，

所述控制系数设定部将比例增益设定为所述控制系数，并且设定流量值越大，则将比例增益设定得越大，以使所述扰动流量增加量和所述扰动流量减少量实质上均衡。

3.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

还包括：

流入流量特性存储部，存储流入流量特性数据，所述流入流量特性数据表示所述阀上游的压力和流入内部容积的流入流量的关系，所述内部容积至少包含所述流量传感器和所述阀之间的流道；以及

阀流量特性存储部，存储阀流量特性数据，所述阀流量特性数据表示设定流量值和所述阀上游的压力的每单位压力上升量的所述扰动流量增加量的关系，

所述控制系数设定部以如下方式设定所述控制系数，使根据所述流入流量特性数据和所述控制系数计算出的所述扰动流量减少量和根据所述阀流量特性数据和设定流量值计算出的扰动流量增加量均衡。

4.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，所述流量传感器是热式流量传感器。

5.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，所述流量传感器是压力式流量传感器。

6.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，所述控制系数设定部根据流体种类的摩尔比热，对所述控制系数进行修正。

7.一种流量控制方法，所述流量控制方法使用流量控制装置，所述流量控制装置包括：阀，设置在流体流动的流道内；流量传感器，在所述流道内设置在比所述阀靠向上游；阀控制部，根据设定流量值与由所述流量传感器测量出的测量流量值之间的偏差和设定的控制系数，以使所述偏差变小的方式控制所述阀；以及控制系数设定部，根据所述阀上游的压力或所述设定流量值设定所述阀控制部的所述控制系数，

所述流量控制方法的特征在于，

以如下方式设定所述控制系数，在所述阀的上游产生扰动压力上升时，使作为与所述阀的开度的减少量对应的流量减少量的扰动流量减少量和作为与所述阀前后的压差的增加量对应的流量增加量的扰动流量增加量实质上均衡。