[发明专利]光刻机工件台的一体式平衡质量装置在审
| 申请号： | 201510465244.1 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN104991425A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 陈兴林;陈震宇;刘杨;付雪微 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 机工 体式 平衡 质量 装置 | ||
1.光刻机工件台的一体式平衡质量装置，其特征在于，它包括基础框架(1)、平衡质量块(2)、四个垂向气浮垫3a、3b、3c、3d、Y向直线电机导轨机构、X向运动机构和平衡质量块直线电机；
平衡质量块(2)为U型结构，U型结构的凹槽走向为Y向；平衡质量块直线电机包括平衡质量块直线电机动子(6)和平衡质量块直线电机定子导轨(7)；Y向直线电机导轨机构包括两条Y向电机导轨底座4a、4b和两条Y向电机定子磁钢5a、5b，X向运动机构包括位于两个Y向直线电机动子、X向导轨(9)和X向直线电机；
基础框架(1)的上表面设置四个垂向气浮垫3a、3b、3c、3d，所述四个垂向气浮垫3a、3b、3c、3d用于支撑平衡质量块(2)的U型底面的四个角；用于气浮隔离平衡质量块(2)与基础框架(1)；
基础框架(1)的中心位置设置有平衡质量块直线电机定子导轨(7)，该导轨沿X轴方向延伸，平衡质量块直线电机动子(6)设置在平衡质量块(2)的U型底面的下表面，且平衡质量块直线电机动子(6)在平衡质量块直线电机定子导轨(7)上沿X轴方向往返滑动；
平衡质量块(2)的两个U型侧面顶端分另设置有Y向电机导轨底座4a、4b，在Y向电机导轨底座4a上设置Y向电机定子磁钢5a，在Y向电机导轨底座4b上设置Y向电机定子磁钢5b；作为Y向直线电机的定子部分；
X向导轨(9)安装在Y向直线电机导轨上，与两条Y向导轨成H型；X向导轨(9)的两端分别设置一个Y向直线电机动子8a、8b，Y向直线电机动子与Y向直线电机的定子部分相配合构成Y向电机；Y向电机带动X向运动机构沿Y向运动；
平衡质量块(2)在X向运动机构的反作用力下会向相反方向运动，从而缓冲直线电机高速运动产生的反作用力，提高运动控制精度、减小冲击和振动；并且平衡质量块电机驱动平衡质量块(2)运动，从而对由于X向运动机构反作用力造成的平衡质量块(2)的偏移进行补偿，使平衡质量块(2)重新回到平衡位置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510465244.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
