[发明专利]一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法有效

专利信息
申请号: 201510465930.9 申请日: 2015-07-31
公开(公告)号: CN105022225B 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 简应华 申请(专利权)人: 深圳市万中和科技有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 广东卓建律师事务所 44305 代理人: 叶新建
地址: 518131 广东省深圳市龙华新*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 微型 高分辨率 显示器 图像 质量 方法
【说明书】:

发明公开了一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法,包括纳米压印制作微透镜面板的步骤:(1)制作纳米压印模具;(2)在显示器阻隔层上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯涂层;(3)升温烘烤;(4)将步骤(1)中的纳米压制模具与步骤(3)中加热烘烤后的半成品边缘对位、贴合压紧,得到纳米压制模具与半成品的复合结构;(5)降温脱模,得到纳米压印微透镜面板。通过将纳米压印模具上的反形图案尺寸设计为100nm量级,从而使制得的微透镜直径缩减到100nm量级,这可以使一个像素同时对应10个以上的透镜,最终使穿过透镜的出射光能量更加聚集,显示器的分辨率显著提高,画面质量大幅提升。

技术领域

本发明属于半导体显示领域,具体地说涉及一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法。

背景技术

微型高分辨率显示器是一种对角线小于1英寸、发光像素数量超过800×600×3的显示器。微型高分辨率显示器像素密度很大,显示信息量极高。这种显示器通过近目光学系统成现几英寸到几十英寸虚拟图像。微型高分辨率显示器的近目光学系统。微型高分辨率显示器发出的光线向透镜投射到达人眼的结构。该系统一般由透镜组或自由曲面镜片加外壳构成,配置安装在人眼的正前方与显示器之间的空间。纳米压印技术突破了传统光刻在特征尺寸减小过程中的难题,适合用于制备微型高分辨率显示器中的模板。

理论上显示器的每一个子像素(R、G、B)需要分别对应一个微透镜,以使出射光能量更密集,但高分辨率的微型显示器的像素尺寸达到微米级,压制微透镜时难以做到精确对位压制,这就导致光能量降低,显示器分辨率无法达到要求,显示器图像质量不佳。克服现有微型高分辨率显示器微透镜与像素难于精确对位压制,导致出射光能量不足、显示器分辨率和显示器图像质量不佳,提供一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法,是目前该领域中刻不容缓的事情。

发明内容

为此,本发明所要解决的技术问题在于现有微型高分辨率显示器微透镜与像素难于精确对位压制,导致出射光能量不足、显示器分辨率和显示器图像质量不佳,从而提出一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法。

为解决上述技术问题,本发明提供了一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法,所述方法包括如下步骤:

(1)制作纳米压印模具,所述纳米压印模具包括与显示器阻隔层相适配的基板以及在所述基板上蚀刻形成的若干微透镜反形图案,每个所述微透镜的直径为50-100nm;

(2)在所述显示器阻隔层上用旋涂法得到聚甲基丙烯酸甲酯涂层,所述聚甲基丙烯酸甲酯涂层厚度大于所述微透镜反形图案中心厚度的二倍;

(3)升温烘烤:将步骤(2)得到的半成品在真空环境下加热烘烤;

(4)将步骤(1)中的纳米压制模具与步骤(3)中加热烘烤后的半成品边缘对位、贴合后压紧得到纳米压制模具与半成品的复合结构;

(5)降温脱模:将步骤(4)得到的所述复合结构降温,并脱除所述纳米压制模具,得到纳米压印微透镜面板。

作为优选,所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方法,所述步骤(1)包括如下步骤:

提供基底,所述基底的面积等于所述若干基板的面积;平坦化处理所述基底;用电子束刻蚀出所述微透镜的反形图像;以及将所述基底切割成若干所述基板。

作为优选,所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方法,显示器的每个像素对应10个或10个以上所述微透镜。

作为优选,所述基底为Si3N4或SiO2

作为优选,所述步骤(3)中所述真空环境的真空度为1-10Pa。

作为优选,所述步骤(3)中升温速率为5℃/min,最终温度为110±5℃,,达到最终温度后,保持烘烤时间为1min。

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