[发明专利]一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构

权利要求书

1.一种基于纳米光栅检测的高 Q 值微机械陀螺结构，其特征在于，所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积；

所述微机械陀螺结构还包括一支撑框体，所述支撑框体设置在凸台上方，所述凸台中心处设置固定纳米光栅 ；所述支撑框体中心处设置可动结构；

所述微机械陀螺结构包括一个与所述支撑框体长度相同的底框，所述凸台设置在所述底框上。

2.根据权利要求 1 所述的一种基于纳米光栅检测的高 Q 值微机械陀螺结构，其特征在于，所述可动结构包括可动框体及质量块，所述质量块通过检测悬臂梁固定在可动框体中间 ；

所述可动框体通过驱动悬臂梁、连接块与所述支撑框体连接。

3.根据权利要求 2 所述的一种基于纳米光栅检测的高 Q 值微机械陀螺结构，其特征在于，所述质量块正中心设有凹槽，所述凹槽中间位置设有可动纳米光栅，所述可动纳米光栅与所述固定纳米光栅位置相对应。

4.根据权利要求 3 所述的一种基于纳米光栅检测的高 Q 值微机械陀螺结构，其特征在于，所述凸台正下方设有用于为纳米光栅提供光源的激光光源 ；

在所述可动纳米光栅正上方设有用于检测透过过纳米光栅的光强、并将检测到的光强转换为电信号的光电转换模块，所述光电转换模块边侧设置用于将光电转换模块获得的电信号转换为角速度信号的信号检测模块。

5.根据权利要求 2所述的一种基于纳米光栅检测的高 Q 值微机械陀螺结构，其特征在于，所述连接块连接在支撑框体上，所述可动框体通过四根驱动悬臂梁连接在连接块上，所述检测悬臂梁的数量也为四根。

6.根据权利要求 5所述的一种基于纳米光栅检测的高 Q 值微机械陀螺结构，其特征在于，所述连接块、驱动悬臂梁和可动框体布置有电磁驱动导线。