[发明专利]一种CVD工装表面微弧改性工艺有效
| 申请号： | 201510466086.1 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105112976A | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 滑占兰 | 申请（专利权）人： | 深圳市星火辉煌系统工程有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/06 | 分类号： | C25D11/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 任哲夫 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市盐田*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 工装 表面 改性 工艺 | ||
1.一种CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述工艺为：先对CVD铝基工装化学脱脂处理，再用电解液对CVD铝基工装进行表面微弧改性处理。
2.如权利要求1所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述电解液中的电解质为K2SiO3、Na2O2、NaF、CH3COONa、Na3VO3。
3.如权利要求2所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述电解质K2SiO3、Na2O2、NaF、CH3COONa、Na3VO3的浓度分别为7g/L、3.5g/L、0.5g/L、2g/L和2g/L。
4.如权利要求1所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述电解液pH为12～13。
5.如权利要求1所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述表面微弧改性处理温度为50～55℃。
6.如权利要求1-5任一项所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述表面微弧改性处理步骤为：将CVD铝基工装置于所述电解液中，然后将电压迅速上升至300V，并保持30s，然后将阳极氧化电压上升至650V，停留5～15min。
7.如权利要求1所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述酸性脱脂剂中含有Na2CO3、Na2SiO3、Na3PO4。
8.如权利要求7所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述酸性脱脂剂的水溶液质量浓度2～3％。
9.如权利要求7或8所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述酸性脱脂剂中Na2CO3、Na2SiO3、Na3PO4质量比为1:1.2:1.5。
10.如权利要求7或8所述的CVD工装表面微弧改性工艺，其特征在于，所述脱脂处理的温度为70℃，时间为15min。
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