[发明专利]一种Z轴磁场加载装置在审
| 申请号： | 201510466709.5 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105158711A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 欧阳君;李杨;童贝;杨晓非;陈实;刘浏;周卓帆 | 申请（专利权）人： | 瑞声光电科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/18 | 分类号： | G01R33/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 加载 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种Z轴磁场加载装置，包括一声表面波基底，堆栈在所述声表面波基底上的多个磁致伸缩薄膜层，其特征在于：所述多个磁致伸缩薄膜层相互分离设置且形成第一凹槽，所述Z轴磁场加载装置还包括设置在多个磁致伸缩薄膜层上方的磁通引导器,所述磁通引导器包括设置在磁致伸缩薄膜层上方的支撑引脚，及从所述支撑引脚向远离声表面波基底方向衍生延伸的一磁通引导层。
2.根据权利要求1所述Z轴磁场加载装置，其特征在于：所述支撑引脚相邻之间设有与第一凹槽贯通的第二凹槽。
3.根据权利要求1或2所述Z轴磁场加载装置，其特征在于：所述磁通引导层包括位于中央且被支撑引脚支撑的中间部分，和从中间部分向边缘方向衍生延伸的边缘部。
4.根据权利要求3所述Z轴磁场加载装置，其特征在于：所述磁通引导层的边缘部与磁致伸缩薄膜层之间形成第一间隙。
5.根据权利要求4所述Z轴磁场加载装置，其特征在于：所述第一间隙内充填有防止塌陷的充填层。
6.根据权利要求1所述Z轴磁场加载装置，其特征在于：所述磁致伸缩薄膜层的数量至少为两个，相应的两个支撑引脚分别桥接在磁致伸缩薄膜层上。
7.根据权利要求2所述Z轴磁场加载装置，其特征在于：第二凹槽/和第一凹槽内充填有防塌陷的另一充填层。
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