[发明专利]一种改变扇形声表面波滤波器带宽的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种方法，尤其涉及一种改变扇形声表面波滤波器带宽的方法。

背景技术

在传统的扇形声表面波滤波器制作过程中，器件的指标之中的带宽是由芯片表面的叉指图案决定的，而叉指图案是由掩膜板曝光形成的，一旦确定后，就很难更改。在已经确定了芯片叉指图案的情况下，声表面波器件的带宽指标也就很难再有改变。如需更改带宽，需要重新设计图案制版，成本较高。因此需要一种能改变扇形声表面波滤波器带宽的方法。

发明内容

为了解决上述技术所存在的不足之处，本发明提供了一种改变扇形声表面波滤波器带宽的方法。

为了解决以上技术问题，本发明采用的技术方案是：一种改变扇形声表面波滤波器带宽的方法，方法通过涂抹吸声胶实现，吸声胶的涂抹分为涂抹在输入叉指换能器的叉指上的高频率处带宽吸声胶和涂抹在输出叉指换能器的叉指上的低频率处带宽吸声胶；

具体步骤分为：

a、高频率处带宽吸声胶的涂抹位置从输入叉指换能器的叉指上边缘开始往下，实际有效长度为叉指重叠部分往上开始计算，频响高端f2的位置下移，高端频响处少去一块，低端频响不变，带宽减小，频率降低；有效长度越长，高端减小的带宽就越多；

b、低频率处带宽吸声胶用于控制低频率处带宽的响应，吸声胶涂抹位置从叉指下边缘开始往上，实际有效长度为叉指重叠部分往下开始计算，频响低端f1位置上移，低端频响处少去一块，高端频响不变，带宽减小，频率升高，有效长度越长，低端减小的带宽就越多；

c、吸声胶涂抹长度由叉指重叠部分的边缘处开始计算，通过调整吸声胶延长至芯片内部的长度，控制带宽的大小；

叉指重叠的长度d与带宽的大小f2-f1成正比的关系，调节的带宽宽度对应的吸声胶长度通过计算得出；高端带宽需要减少Δf2，高频率处带宽吸声胶2的有效长度＝Δf2/(f2-f1)*d；同理，低端带宽需要减少Δf1，低频率处带宽吸声胶3的有效长度＝Δf1/(f2-f1)*d；

吸声胶的长度由一个可调节宽度的丝网印刷板控制，通过丝网把固定长度的吸声胶涂抹到晶片表面，得到想要的带宽。

本发明可以在不改动叉指图案的情况下，更改扇形声表面波滤波器的带宽，很好了解决了需要重新设计图案制版，繁琐以及成本较高的问题。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明的整体实施示意图。

图2为扇形结构形成频响的原理图。

图3为现有设计扇形声表面波滤波器的频响图。

图4为图1中高频率处带宽吸声胶涂抹后的频响图。

图5为图1中低频率处带宽吸声胶涂抹后的频响图。

图中：1、输入叉指换能器；2、高频率处带宽吸声胶；3、低频率处带宽吸声胶；4、输出叉指换能器；5、频响低端f1；6、频响高端f2；7、叉指重叠的长度d。

扇形声表面波滤波器的带宽对应叉指的区域，叉指窄的部分，对应频响频率高的部分，叉指宽的部分对应频响频率低的部分。

具体实施方式

如图1、图2所示，根据扇形声表面波滤波器形成频响的原理，频响高端f2的响应由指条较细处控制，频响低端f1的响应由指条较粗处控制。频率宽度(f2-f1)与叉指的孔径相对应。

吸声胶可以抑制声表面波在基片上的传播，通常把吸声胶涂在声表面波滤波器的两端来抑制器件的端面反射，来消除杂波。之前的声表面波器件制作过程中，不会对形成频响的声表面波进行处理。这里通过吸声胶的特性，在输入叉指换能器1和输出叉指换能器4之间涂抹吸声胶，控制输入、输出叉指换能器之间的声表面波传播，相当于变更叉指的孔径d，从而抑制改变频响低端f1和频响高端f2的位置，来改变声表面波滤波器的带宽。

附图3为原设计扇形声表面波滤波器的频响图。其由声表面波器件在基片表面形成的叉指来决定其带宽等指标，一般情况下如需更改，需要重新制作掩膜板再次光刻，成本较高。

高频率处带宽吸声胶2用于控制高频率处带宽的响应，高频率处带宽吸声胶2的涂抹位置从输入叉指换能器1的叉指上边缘开始往下，实际有效长度为叉指重叠部分往上开始计算，涂抹高频率处带宽吸声胶2后频响图如附图4所示，频响高端f2的位置下移，高端频响处就会少去一块，低端频响不变，带宽减小，频率降低。有效长度越长，高端减小的带宽就越多。