[发明专利]具有翻转装置的拉晶炉

说明书

技术领域

本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，特别是涉及拉晶炉。

背景技术

晶粒是制造半导体致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二铋，作为制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齐，晶粒里面的分子排列越整齐，致冷件的效率就越高。

晶粒是由晶棒切割而成的，这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。

制造晶棒时，对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶，拉晶是在拉晶炉中进行的，原料放置在拉晶管中，拉晶时拉晶管处于均衡的环境中有利于拉晶的效果。

拉晶炉具有炉腔，在炉腔内有放置拉晶管的卡件，拉晶时卡件卡着拉晶管；现有技术中，炉腔内的卡件是固定在炉腔内、不会转动的，这样，在拉晶的过程中，拉晶管在炉腔内的位置是不动的，具有拉晶效果差的缺点。

发明内容

本发明的目的就是针对上述缺点，提供一种拉晶效果好的拉晶炉——具有翻转装置的拉晶炉。

本发明的技术方案是这样实现的：具有翻转装置的拉晶炉，包括炉体，炉体安装在架子上，炉体内部具有炉腔，在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件，加热装置可以对拉晶管进行加热，其特征是：

所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔，卡件后面安装第一转轴，第一转轴穿过轴孔，在第一转轴外面有小齿轮；

在炉体的端部外侧具有转轮，转轮经过转轴安装在架子上，转轮连接第一动力装置，转轮内侧有大齿圈，齿圈和小齿轮啮合。

进一步地讲，所述的炉体是由两端的炉挡板和中间的炉圈组成的，炉挡板是圆形的，炉圈是筒形的，炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道，所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合，所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内，所述的加热装置在炉圈内，所述的炉圈连接有第二动力装置。

较好的，所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数。

进一步地讲，所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管。 

本发明的有益效果是：

1、这样的拉晶炉具有不用翻转就可以使拉晶管各处受热均匀、拉晶效果好的优点；

2、所述的炉体是由两端的炉挡板和中间的炉圈组成的，炉挡板是圆形的，炉圈是筒形的，炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道，所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合，所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内，所述的炉圈连接有第二动力装置，具有拉晶效果更好、短时间内完成拉晶、节省能源的优点；

3、所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数，所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管，具有拉晶效果更好的优点。

附图说明

图1是发明的结构示意图。

其中：1、炉体   2、架子   3、炉腔   4、加热装置   5、卡件  6、轴孔   7、第一转轴   8、小齿轮   9、转轮  10、转轴   11、第一动力装置   12、炉挡板   13、炉圈   14、第二动力装置   15、电加热丝   16、红外线加热管。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

如图1所示，具有翻转装置的拉晶炉，包括炉体1，炉体安装在架子2上，炉体1内部具有炉腔3，在炉腔内设置加热装置4和多组卡着拉晶管的卡件5，加热装置可以对拉晶管进行加热，其特征是：

所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔6，卡件后面安装第一转轴7，第一转轴穿过轴孔，在第一转轴外面有小齿轮8；

在炉体的端部外侧具有转轮9，转轮9经过转轴10安装在架子上，转轮连接第一动力装置11，转轮内侧有大齿圈，齿圈和小齿轮啮合。

第一动力装置运行，带动转轮运行，转轮内的大齿圈带动小齿轮运行，由于轴孔6的限位作用，可以实现第一转轴7在同轴芯处的转动，这样避免了拉晶管朝着一个方向放置，例如避免了拉晶管朝向的部位总是朝着一个方向，减少了出现拉晶不均匀的现象，具有本发明的优点。

进一步地讲，所述的炉体是由两端的炉挡板12和中间的炉圈13组成的，炉挡板是圆形的，炉圈是筒形的，炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道，所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合，所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内，所述的炉圈连接有第二动力装置14。由于加热装置安装在炉圈上，这样炉圈转动，加热更均匀。经过试验，这样拉晶时间缩短1∕4，具有相同时间拉晶效果更好、相同质量拉晶时间短、节省能源的优点；