[发明专利]基于拨杆机构的双工件台换台自转装置在审
申请号: | 201510475149.X | 申请日: | 2015-08-06 |
公开(公告)号: | CN105005180A | 公开(公告)日: | 2015-10-28 |
发明(设计)人: | 陈兴林;陈震宇;刘杨;付雪微 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/67 |
代理公司: | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人: | 高媛 |
地址: | 150000 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 机构 双工 件台换台 自转 装置 | ||
1.基于拨杆机构的双工件台换台自转装置,其特征在于它包括框架(1)、公转电机(2)、第一工作台总成(3)、第二工作台总成(4)、第一直线滑动轴承(5)、第二直线滑动轴承(6)、第一直线导杆(7)、第二直线导杆(8)、第一随动导杆驱动器(9)、第二随动导杆驱动器(10);
第一工作台总成(3)由第一上平台(3-1)和第一环形座(3-2)组成;第一环形座(3-2)通过气浮轴承转动套接在第一上平台(3-1)的下端转轴上;第二工作台总成(4)由第二上平台(4-1)和第二环形座(4-2)组成;第二环形座(4-2)通过气浮轴承转动套接在第二上平台(4-1)的下端转轴上;公转电机(2)设置在框架(1)的中心位置上,公转电机(2)的第一抓卡机构(2-1)抓卡在第一工作台总成(3)的第一环形座(3-2)上,公转电机(2)的第二抓卡机构(2-2)抓卡在第二工作台总成(4)的第二环形座(4-2)上,第一直线滑动轴承(5)安装在第一上平台(3-1)下端面上,第二直线滑动轴承(6)安装在第二上平台(4-1)下端面上,第一随动导杆驱动器(9)滑动设置在框架(1)上,第二随动导杆驱动器(10)滑动设置在框架(1)上;第一直线导杆(7)的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器(9)上,第二直线导杆(8)的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器(10)上;第一直线导杆(7)的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承(5)内,第二直线导杆(8)的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承(6)内,当公转电机(2)在逆时针旋转180度后再顺时针旋转180度的循环过程中时,第一直线导杆(7)能在第一直线滑动轴承(5)内做直线滑动,能限制第一工作台总成(3)的第一上平台(3-1)的转动角度为零,第一随动导杆驱动器(9)能跟随第一直线导杆(7)的往复直线滑动动作在框架(1)上做往复直线滑动;第二直线导杆(8)能在第二直线滑动轴承(6)内做直线滑动,能限制第二工作台总成(4)的第二上平台(4-1)的转动角度为零,第二随动导杆驱动器(10)能跟随第二直线导杆(8)的往复直线滑动动作在框架(1)上做往复直线滑动。
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