[发明专利]一种二次平台动态调平系统

权利要求书

1.一种二次平台动态调平系统，其特征在于它包括平台（1）、第一带气缸的音圈电机（2）、第二带气缸的音圈电机（3）、第三带气缸的音圈电机（4）、工控机总成（5）、底座（6）、双轴传感器（7）；

所述第一带气缸的音圈电机（2）包括上平板（2-1）、活塞（2-2）、音圈电机动子（2-3）、气缸（2-4）、音圈电机定子（2-5）、光栅尺（2-6）、下平板（2-7）、手动调压阀（2-8）、电控比例调压阀（2-9）；活塞（2-2）的上端面与上平板（2-1）中心部的下端面连接；音圈电机动子（2-3）套在活塞（2-2）的外侧，使音圈电机动子（2-3）的上端面与上平板（2-1）的下端面连接；气缸（2-4）的下端面与下平板（2-7）中心部的上端面密封连接；音圈电机定子（2-5）套在气缸（2-4）的外侧，使音圈电机定子（2-5）的下端面与下平板（2-7）的上端面连接；活塞（2-2）的下侧部设置在气缸（2-4）内，使活塞（2-2）的外圆面与气缸（2-4）的内圆面密封滑动连接，使音圈电机动子（2-3）的线圈部分与音圈电机定子（2-5）的环形永磁体部分间隙磁感应连接；手动调压阀（2-8）的进气端口接气源，手动调压阀（2-8）的出气端口与气缸（2-4）下端上的进气端口（2-4-1）连通，电控比例调压阀（2-9）的进气端口与气缸（2-4）下端上的出气端口（2-4-2）连通；光栅尺（2-6）分别安装在音圈电机动子（2-3）和音圈电机定子（2-5）上，用于检测音圈电机动子（2-3）与音圈电机定子（2-5）之间的相对位移量；第二带气缸的音圈电机（3）的组成和连接关系、第三带气缸的音圈电机（4）的组成和连接关系都与第一带气缸的音圈电机（2）相同；所述工控机总成（5）包括工控机（5-1）、三路运动控制板卡（5-2）、三路DA板卡（5-3）、第一电机驱动器（5-4）、第二电机驱动器（5-5）、第三电机驱动器（5-6）、第一比例电磁阀控制器（5-7）、第二比例电磁阀控制器（5-8）、第三比例电磁阀控制器（5-9）；三路运动控制板卡（5-2）的数据输出输入总线端和三路DA板卡（5-3）的数据输出输入总线端分别与工控机（5-1）的数据输入输出总县端连接；第一电机驱动器（5-4）的数据输入输出端、第二电机驱动器（5-5）的数据输入输出端、第三电机驱动器（5-6）的数据输入输出端分别连接在三路运动控制板卡（5-2）的三路控制数据输出输入端上；第一比例电磁阀控制器（5-7）的数据输入输出端、第二比例电磁阀控制器（5-8）的数据输入输出端、第三比例电磁阀控制器（5-9）的数据输入输出端分别连接在三路DA板卡（5-3）的三路控制数据输出输入端上；第一带气缸的音圈电机（2）、第二带气缸的音圈电机（3）和第三带气缸的音圈电机（4）以三角位置设置在底座（6）上，使第一带气缸的音圈电机（2）下平板的下端面、第二带气缸的音圈电机（3）下平板的下端面和第三带气缸的音圈电机（4）下平板的下端面都与底座（6）的上端面连接；使第一带气缸的音圈电机（2）上平板的上端面、第二带气缸的音圈电机（3）上平板的上端面和第三带气缸的音圈电机（4）上平板的上端面都与平台（1）的下端面连接；工控机总成（5）的第一电机驱动器（5-4）的驱动输出端、第二电机驱动器（5-5）的驱动输出端、第三电机驱动器（5-6）的驱动输出端分别与第一带气缸的音圈电机（2）的音圈电机动子（2-3）的线圈输入端、第二带气缸的音圈电机（3）的音圈电机动子的线圈输入端、第三带气缸的音圈电机（4）的音圈电机动子的线圈输入端连接；工控机总成（5）的第一比例电磁阀控制器（5-7）的驱动输出端、第二比例电磁阀控制器（5-8）的驱动输出端、第三比例电磁阀控制器（5-9）的驱动输出端分别与第一带气缸的音圈电机（2）的电控比例调压阀的输入端、第二带气缸的音圈电机（3）的电控比例调压阀的输入端、第三带气缸的音圈电机（4）的电控比例调压阀的输入端连接；第一带气缸的音圈电机（2）的光栅尺（2-6）的信号输出端、第二带气缸的音圈电机（3）的光栅尺的信号输出端、第三带气缸的音圈电机（4）的光栅尺的信号输出端分别与工控机总成（5）的三个位移检测信号输入端连接；双轴传感器（7）设置在平台（1）的上端面上，使双轴传感器（7）的一个检测轴线与第一带气缸的音圈电机（2）、第二带气缸的音圈电机（3）和第三带气缸的音圈电机（4）位置构成的三角形的一个边平行，使双轴传感器（7）的另一个检测轴线与上述三角形的高平行。