[发明专利]彩色多晶太阳能电池片的处理方法及其处理装置有效
申请号: | 201510477588.4 | 申请日: | 2015-08-06 |
公开(公告)号: | CN105161399B | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
发明(设计)人: | 陈建平 | 申请(专利权)人: | 浙江德西瑞新能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02 |
代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
地址: | 314415 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 处理容器 多晶太阳能电池片 处理装置 滑块 喷管 升降气缸 移动机构 有效处理 处理筒 电子技术领域 方法和装置 气缸安装座 处理效率 固定导轨 搅拌装置 机械手 升降板 导轨 气缸 取放 自动化 | ||
本发明提供了一种彩色多晶太阳能电池片的处理方法及其处理装置,属于电子技术领域。它解决了现有技术中的方法和装置不能自动化的对彩色多晶太阳能电池片进行有效处理等问题。本彩色多晶太阳能电池片的处理装置,包括机架,机架固定有第一处理容器、第二处理容器、第三处理容器,第一处理容器设有第一处理筒,第一处理筒设有第一升降板,机架固定导轨,导轨设有滑块,滑块设有升降气缸,升降气缸固定有取放机械手,滑块与移动机构相连接,移动机构包括气缸和气缸安装座,第二处理容器中设有搅拌装置,第三处理容器有喷管一和喷管二。本发明具有能对彩色多晶太阳能电池片进行有效处理,且处理效率高的优点。
技术领域
本发明属于电子技术领域,涉及一种彩色多晶太阳能电池片,特别是彩色多晶太阳能电池片的处理方法及其处理装置。
背景技术
彩色多晶太阳能电池片采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)沉积一层SiNx: H减反射膜,通过对纳米硅薄膜太阳能电池P层的厚度、物相结构、形貌的调控,改变其光学参数,进而制备出彩色多晶太阳能电池片。同时,还可以通过退火工艺调控其形态结构、晶相比和光学参数,来提高彩色多晶太阳能电池的效率。
现有的对彩色多晶太阳能电池片处理方法中,并不能有效的对彩色多晶太阳能电池片进行化学处理,从而最大限度的提高其性能。同时,对彩色多晶太阳能电池片处理时,自动化程度低,往往会需要过多的人力资源,且有些化学物质还对人体有害,容易带来不必要的安全隐患。
所以,对于本领域内的技术人员,还有待研发出一种能够自动化的对彩色多晶太阳能电池片进行有效处理的方法和装置。
发明内容
本发明的第一个目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了彩色多晶太阳能电池片的处理方法,该处理方法具有能够对多晶四阻栅新型高效电池片进行有效处理的特点。
本发明的第一个发明目的可通过下列技术方案来实现:彩色多晶太阳能电池片的处理方法,该处理方法包括以下步骤:
(1) 用浓度为25%的氢氟酸溶液 50mL,浓度为30%的硝酸溶液 25mL,以及浓度为 20%的双氧水溶液28mL,使三者溶液混合均匀;
(2) 用上述混合溶液对彩色多晶太阳能电池片进行浸泡,浸泡时间为20-30s,去除表面机割损伤层;
(3)取浓度为55%的氢氧化钠溶液 30mL清洗表面污染物;
(4)然后用去离子水对彩色多晶太阳能电池片进行清洗,氮气吹干。
该方法采用的氢氟酸溶液、硝酸溶液和双氧水溶液的混合溶液来去除彩色多晶太阳能电池片表面机械损伤层,形成起伏不平的绒面,从而增加太阳能光的吸收;然后,利用氢氧化钠溶液来清洗彩色多晶太阳能电池片表面的氧化层,增加彩色多晶太阳能电池片表面的脱水性质;最后离子水对彩色多晶太阳能电池片进行最后的清洗并用氮气吹干。
本发明的第二个发明目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种彩色多晶太阳能电池片的处理装置,该处理装置具有处理效率高的特点。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造