[发明专利]磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统在审
| 申请号： | 201510478853.0 | 申请日： | 2015-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN105063564A | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 井治;张仰平;刘锐;罗松松;张超群;王程 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200061 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 镀膜 屏蔽 冷却系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射镀膜线的屏蔽冷却系统，其特征在于，包括屏蔽板、铜编织带、冷却管、底架、及连接板，所述连接板通过螺钉将所述底架连接起来，所述冷却管通过螺栓固定至所述底架，所述冷却管固定有所述铜编织带，所述屏蔽板通过螺钉安装在所述冷却管上，所述铜编织带紧密压在所述屏蔽板和所述冷却管之间，由此，所述铜编织带使所述屏蔽板和所述冷却管紧密贴合，从而增加传热面积。
2.根据权利要求1所述的屏蔽冷却系统，其特征在于，所述连接板通过螺钉将所述底架连接在一起，由此保证该装置两侧处于同一水平面以增加其支撑的稳定性。
3.根据权利要求2所述的屏蔽冷却系统，其特征在于，所述冷却管通过螺栓固定在所述底架的上表面。
4.根据权利要求3所述的屏蔽冷却系统，其特征在于，所述铜编织带固定在所述冷却管的上表面，由此有效增加传热面积。
5.根据权利要求4所述的屏蔽冷却系统，其特征在于，所述屏蔽板有效吸附阴极溅射物，同时隔绝阴极溅射物吸附在所述冷却管的表面。
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