[发明专利]清洁组合物

权利要求书

1.一种用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，基于所述组合物的总重量，包含：

(a)1～10wt％的季铵盐化合物，

(b)40～80wt％的极性溶剂，

(c)1～20wt％的由下面的化学式1表示的烷氧基烷基胺，

(d)0.1～5wt％的羟胺化合物，

(e)1～20wt％的由下面的化学式2表示的酰胺，

(f)4～20wt％的亚烷基二醇二烷基醚，

(g)0.01～2wt％的无机碱或所述无机碱的盐，和

(h)1～40wt％的水，

其特征在于，所述组合物不包含亚烷基二醇单烷基醚，

[化学式1]

其中，在化学式1中，R₁是C₁～C₆无环或环状的烷氧基，或者是被C₁～C₆无环或环状的烷基或C₁～C₃烷氧基取代的C₁～C₆无环或环状的烷氧基；R₂和R₃各自独立地是氢或C₁～C₆无环或环状的烷基；并且n是1至4的整数；

[化学式2]

其中，在化学式2中，R₄、R₅和R₆各自独立地是氢或C₁～C₄无环或环状的烷基或苯基。

2.根据权利要求1所述的用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，其中，所述季铵盐化合物(a)是选自由四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵和四丁基氢氧化铵组成的组中的任一种或多种。

3.根据权利要求1所述的用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，其中，所述极性溶剂(b)是选自由二甲基亚砜、二乙基亚砜、二丙基亚砜、环丁砜、N-甲基吡咯烷酮、吡咯烷酮和N-乙基吡咯烷酮组成的组中的任一种或多种。

4.根据权利要求1所述的用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，其中，由化学式1表示的所述烷氧基烷基胺(c)是选自由甲氧基乙胺、甲氧基丙胺、乙氧基丙胺、丙氧基乙胺、异丙氧基丙胺、甲氧基乙氧基丙胺、氧戊环-2-基-甲胺、(氧戊环-2-基-甲基)丁烷-1-胺和甲基氧戊环-2-基-甲胺组成的组中的任一种或多种。

5.根据权利要求1所述的用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，其中，所述羟胺化合物(d)是选自由羟胺、二甲基羟胺和二乙基羟胺组成的组中的任一种或多种。

6.根据权利要求1所述的用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，其中，由化学式2表示的所述酰胺(e)是选自由甲酰胺、乙酰胺、苯甲酰胺、N-甲基丙酰胺、丙酰胺、丁酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、N-乙基-N-甲基苯酰胺、N-苯基丁酰胺和N-苯基苯酰胺组成的组中的任一种或多种。

7.根据权利要求1所述的用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，其中，所述亚烷基二醇二烷基醚(f)是选自由乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、三乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇甲丁醚、丙二醇二甲醚和二丙二醇二甲醚组成的组中的任一种或多种。

8.根据权利要求1所述的用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，其中，所述无机碱或所述无机碱的盐(g)是选自由氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、硝酸钠、硝酸钾、硫酸钠、硫酸钾、硅酸钠和硅酸钾组成的组中的任一种或多种。

9.根据权利要求1所述的用于除去彩色光阻、有机绝缘体和透明树脂的清洁组合物，包含：

四甲基氢氧化铵，作为所述季铵盐化合物(a)；

二甲基亚砜，作为所述极性溶剂(b)；

甲氧基乙胺、甲氧基丙胺、乙氧基丙胺和丙氧基乙胺中的一种或多种，作为所述烷氧基烷基胺(c)；

N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基丙酰胺、N-甲基乙酰胺和N,N-二甲基丙酰胺中的一种或多种，作为所述酰胺(e)；

乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚和丙二醇二甲醚中的一种或多种，作为所述亚烷基二醇二烷基醚(f)；和

硝酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸氢钠、碳酸钾和碳酸钠中的一种或多种，作为所述无机碱或所述无机碱的盐(g)。