[发明专利]一种固体氧化物表面结构的测定方法

权利要求书

1.一种固体氧化物表面结构的测定方法，其特征是包括如下步骤：

步骤1：将氧化物样品经过焙烧处理，使其表面吸附物种脱附；

步骤2：将步骤1中处理好的样品置于原子层沉积的反应腔中，根据氧化物的性质设置沉积温度，沉积过程分两个半反应：第一步是前驱体脉冲进入反应腔，在氧化物表面化学吸附进行第一个半反应，接着除去多余的前驱体；第二步是¹⁷O同位素标记的H₂¹⁷O脉冲进入反应腔，进行第二个半反应，生成¹⁷O同位素标记的氧化物；

步骤3：将步骤2得到的氧化物装入转子，用¹⁷O固体核磁共振谱学表征，根据¹⁷O固体核磁共振谱判断固体氧化物表面结构。

2.一种金属本身具有核磁共振可观测性的固体氧化物表面结构的测定方法，其特征是它包括如下步骤：

步骤1：将和需要表征的氧化物样品具有类似结构的衬底进行焙烧处理，使其表面吸附物种脱附；

步骤2：将步骤1中处理好的衬底置于原子层沉积的反应腔中，根据需表征的氧化物的性质设置沉积温度，沉积过程分两个半反应：第一步是使需表征的氧化物的金属的前驱体脉冲进入反应腔，在氧化物表面化学吸附进行第一个半反应，接着除去多余的前驱体；第二步是将H₂O脉冲进入反应腔，进行第二个半反应，生成需表征的氧化物；

步骤3：将步骤2得到的沉积于衬底的氧化物装入转子，用固体核磁共振谱学表征，根据金属固体核磁共振谱判断固体氧化物表面结构。